液体可以做SEMEDX分析其中杂质颗粒的元素吗

国内做SEM一般用钨针尖去扫光滑固体表面，然后得电压。做液体的话，我觉得有以下几个问题：1.由于钨上面有偏压，若分析的杂志带电或有极性就没法测了（会通电的） 2.如果扫液体表面会由于表面张力是液体吸附上去 3.在液体内部测试的话，你得测那些无极性的大杂质颗粒，但这样容易碰坏针尖，针尖一般只有几个原子。 反正我觉得没法测。 EDX这个我不清楚，似乎是可以的。 你是不是吧SEM看错了，是SERS（表面增强拉曼）吧。

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

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