扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像
SEM就是观察表面形貌的一种方法。对于块状材料,如果观察断口形貌,则要把样品打断,将断口在丙酮中超声处理,去除碎渣,再喷碳或金。
对于抛光样品,需要将抛光面腐蚀。腐蚀剂根据不同材料选择。
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