ocd光学线宽测量和cd-sem的区别

ocd光学线宽测量和cd-sem的区别,第1张

SEM作为显微镜,可以放大微观物体形态,一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下,放大倍数一般不会漂移,精度可靠。但随着温湿度变化,随着电磁环境变化,可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同,完全靠扫描线圈和电器元件控制,电器元件的老化,可能会引起放大倍数漂移,因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题,这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似,许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高!还有SEM作为材料分析平台,做化学成分分析,晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结:精度靠方法和条件保证!前提是方法一致,条件不要变化!!

对于快速地检测电子束曝光制造出的小纳米结构的尺寸和缺陷并保证其不受到损伤是纳米加工进入10nm尺度面临的另一重大技术问题。同时,在集成电路制造中,多层制造需要对标记进行极高精度的检测"显然,光学的无损伤检测方式己无法应用于10nm尺度范围,因此基于能量束的检测方法是必须采取的方式"。

目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。

SEM是Search Engine Marketing的缩写,中文意思是搜索引擎营销。SEM搜索引擎营销是一种新的网络营销形式。SEM搜索引擎营销所做的就是全面而有效的利用搜索引擎来进行网络营销和推广。SEM搜索引擎营销追求最高的性价比,以最小的投入,获最大的来自搜索引擎的访问量,并产生商业价值。

SEM搜索引擎营销的服务主要有3种方式:

1. 竞价排名,顾名思义就是网站付费后才能被搜索引擎收录并靠前排名,付费越高者排名越靠前;竞价排名服务,是由客户为自己的网页购买关键字排名,按点击计费的一种服务。客户可以通过调整每次点击付费价格,控制自己在特定关键字搜索结果中的排名;并可以通过设定不同的关键词捕捉到不同类型的的目标访问者。而在国内最流行的点击付费搜索引擎有百度,雅虎和Google。值得一提的是即使是做了PPC(Pay Per Click,按照点击收费)付费广告和竞价排名,最好也应该对网站进行搜索引擎优化设计,并将网站登录到各大免费的搜索引擎中。

2. 购买关键词广告,即在搜索结果页面显示广告内容,实现高级定位投放,用户可以根据需要更换关键词,相当于在不同页面轮换投放广告;

3. 搜索引擎优化(SEO优化),就是通过对网站建设结构、关键字选择、网站内容规划进行调整和优化,使得网站在搜索结果中靠前。 搜索引擎优化(SEO优化)又包括网站内容优化、关键词优化、外部链接优化、内部链接优化、代码优化、图片优化、搜索引擎登录等。


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