液体可以做SEMEDX分析其中杂质颗粒的元素吗

国内做SEM一般用钨针尖去扫光滑固体表面，然后得电压。做液体的话，我觉得有以下几个问题：1.由于钨上面有偏压，若分析的杂志带电或有极性就没法测了（会通电的） 2.如果扫液体表面会由于表面张力是液体吸附上去 3.在液体内部测试的话，你得测那些无极性的大杂质颗粒，但这样容易碰坏针尖，针尖一般只有几个原子。 反正我觉得没法测。 EDX这个我不清楚，似乎是可以的。 你是不是吧SEM看错了，是SERS（表面增强拉曼）吧。

可以测。

可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

SEM的工作原理与使用方法 ：

SEM的工作原理 扫描电镜（SEM）是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。

当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。

在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。

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