电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???,第1张

SEM通过电子来使样本放大50万倍,相当于将1毫米放大到500米。同时,SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层,产生X射线,释放不同程度的能力,从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术,对于分析枪击痕迹非常有用。

电子束通过加速电压打到样品上,称场发射。

场发射分冷场发射和热场发射,热场发射灯丝始终通电,使用时将电子束引发到样品

冷场发射灯丝在使用时才通电,热场较稳定,冷场设备损耗较少。


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