XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。
1 XRD(X-ray diffraction)是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。
2 SEM(扫描电子显微镜)是一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
3 AFM (原子力显微镜)是一种表面观测仪器,与扫描隧道显微镜相比,能观测非导电样品。
XRD通常薄膜厚度不够的话,需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次,同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。
针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。
第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。
希 望 采 纳 不 足 可 追 问
想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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