扫描电镜的历史?

1923年，法国科学家Louis de Broglie发现，微观粒子本身除具有粒子特性以外还具有波动性。他指出不仅光具有波粒二象性，一切电磁波和微观运动物质(电子、质子等)也都具有波粒二象性。电磁波在空间的传播如图4-1所示，是一个电场与磁场交替转换向前传递的过程。电子在高速运动时，其波长远比光波要短得多，于是人们就想到是不是可以用电子束代替光波来实现成像?

1926年，德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称性的磁场对电子束来说起着透镜的作用。从理论上设想了可利用磁场作为电子透镜，达到使电子束会聚或发散的目的。

有了上述两方面的理论，1932年，德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第1台实验室电子显微镜，这是后来透射式电子显微镜（transmission electron microscope，TEM）

的雏形。其加速电压为70kV，放大率仅12倍。尽管这样的放大率还微不足道，但它有力地证明了使用电子束和电磁透镜可形成与光学影像相似的电子影像。这为以后电子显微镜的制造研究和提高奠定了基础。

1933年，E.Ruska用电镜获得了金箔和纤维的1万倍的放大像。至此，电镜的放大率已超过了光镜，但是对显微镜有着决定意义的分辨率，这时还只刚刚达到光镜的水平。1937年，柏林工业大学的Klaus和Mill继承了Ruska的工作，拍出了第1张细菌和胶体的照片，获得了25nm的分辨率，从而使电镜完成了超越光镜性能的这一丰功伟绩。

1939年，E.Ruska在德国的Siemens公同制成了分辨率优于10nm的第1台商品电镜。由于E·Ruska在电子光学和设计第1台透射电镜方面的开拓性工作被誉为“本世纪最重要的发现之一”，而荣获1986年诺贝尔物理学奖。

除Knoll、Ruska以外，同时其他一些实验室和公司也在研制电镜。如荷兰的菲利浦（Philip）公司、美国的无线电公司(RCA)、日本的日立公司等。1944年Philip公司设计了150kV的透射电镜，并首次引入中间镜。1947年法国设计出400kV的高压电镜。60年代初，法国制造出1500kV的超高压电镜。1970年法国、日本又分别制成3000kV的超高压电镜。

进入60年代以来，随着电子技术的发展，特别是计算机科学的发展，透射电镜的性能和自动化程度有了很大提高。现代透射电镜（如日立公司的H-9000型）的晶格分辨率最高已达0.1nm，放大率达150万倍。人们借助于电镜不但能看到细胞内部的结构，还能观察生物大分子和原子的结构，应用也愈加广泛和深入。

扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)作为商品出现则较晚，早在1935年，Kn-

oll在设计透射电镜的同时，就提出了扫描电镜的原理及设计思想。1940年英国剑桥大学首次试制成功扫描电镜。但由于分辨率很差、照相时间过长,因此没有立即进入实用阶段，至1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。80年代后扫描电镜的制造技术和成像性能提高很快，目前高分辨型扫描电镜（如日立公司的S-5000型）使用冷场发射电子枪，分辨率已达0.6nm，放大率达80万倍。

我国从50年代初开始研制透射电镜，1959年第1台透射电镜诞生于上海新跃仪表厂，此后中型透射电镜开始批量生产。目前国产透射电镜分辨率已达0.2nm，放大80万倍。扫描电镜也于70年代开始生产。国内主要生产电镜的厂家是:北京中科院科学仪器厂、上海新跃仪表厂、南京江南光学仪器厂等。

1、盈普仪器科技（宁波）有限公司

2、深圳市瑞盛科技有限公司

3、深圳市纳科科技有限公司

4、惠州市华高仪器设备有限公司

5、苏州安原仪器有限公司

扫描电子显微镜，简称：扫描电镜，英文名称：SEM(ScanningElectronMicroscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，

通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合，可以进行成分分析。所以SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

扫描电镜较好的厂家有北京达昱科仪科技有限公司、郑州予达仪器科技有限公司、上海荣皋激光学元件有限公司、复纳科学仪器上海有限公司、上海机电科技有限公司。

1、郑州予达仪器科技有限公司

郑州予达仪器科技有限公司是重点开发、生产、销售、生物化工仪器、药厂制药仪器、科研教学仪器的专业生产厂家。主营产品：高压反应釜， 玻璃反应釜， 无油隔膜真空泵。业务范围：化工成套设备。

2、上海荣皋激光学元件有限公司

荣皋激光下设有：特种精密加工部、光学部、激光设备及配件部、激光礼品部。 上海荣皋激光成立于2000年，公司内部的技术人员全为高级工程师，主营产品：0.01微孔加工， 激光刻字加工打标， 不锈钢微孔加工。业务范围：其他仪器仪表。

3、复纳科学仪器上海有限公司

专业研发并生产Phenom（飞纳）系列台式扫描电镜。Phenom（飞纳）台式扫描电镜具有45，000× 放大倍数，10秒快速抽真空，Phenom（飞纳）台式扫描电镜的一系列产品及相关领域的配件，可应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、纺织纤维、地质科学等诸多领域。

4、上海机电科技有限公司

机电产品领域内的技术开发、技术咨询，机电产品及配件的安装及维修，销售仪器仪表及配件、自动化控制设备及配件、电线电缆、电子产品、家用电器、五金交电、电脑及配件、金属材料、汽车配件、化工产品。

5、北京达昱科仪科技有限公司

公司主要从事电子显微镜以及半导体行业的相关耗材及设备买卖及技术支持。 同时也合作开发及代理了各种实验室仪器设备（清洗机系列，电炉系列，干燥箱系列、电子天平等）、医疗设备、化学试剂、光掩模BLANK、LED产品、与设备翻修服务。 

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