应该是景深吧``
焦深计算公式
L= ±[(r/M)-d]/2α 其中:
L: 焦深
r: 显像管最小分辨距离
M:放大倍数
d:入射电子束直径
2α:物镜孔径角。
从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。
又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:
1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。
国内做SEM一般用钨针尖去扫光滑固体表面,然后得电压。做液体的话,我觉得有以下几个问题:1.由于钨上面有偏压,若分析的杂志带电或有极性就没法测了(会通电的) 2.如果扫液体表面会由于表面张力是液体吸附上去 3.在液体内部测试的话,你得测那些无极性的大杂质颗粒,但这样容易碰坏针尖,针尖一般只有几个原子。 反正我觉得没法测。 EDX这个我不清楚,似乎是可以的。 你是不是吧SEM看错了,是SERS(表面增强拉曼)吧。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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