SEMEDX在测表面元素的时候测得多深?拜托了各位 谢谢

SEMEDX在测表面元素的时候测得多深?拜托了各位 谢谢,第1张

二次电子扫描象的分辨本领最高,约等于入射电子束直径,一般为6-10nm深,主要用于测试表面形貌;背散射电子为50-200 nm深,可以测表面形貌,也可以得到表面成分衬度;吸收电子和X射线为100-1000nm深,这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

````

应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中:

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M:放大倍数

d:入射电子束直径

2α:物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

国内做SEM一般用钨针尖去扫光滑固体表面,然后得电压。做液体的话,我觉得有以下几个问题:1.由于钨上面有偏压,若分析的杂志带电或有极性就没法测了(会通电的) 2.如果扫液体表面会由于表面张力是液体吸附上去 3.在液体内部测试的话,你得测那些无极性的大杂质颗粒,但这样容易碰坏针尖,针尖一般只有几个原子。 反正我觉得没法测。 EDX这个我不清楚,似乎是可以的。 你是不是吧SEM看错了,是SERS(表面增强拉曼)吧。


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