请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜相比有哪些区别

请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜相比有哪些区别,第1张

当分辨率在纳米和原子范围时,扫描电镜(sem)和原子力电镜(afm)是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术,各有优劣。它们最根本的区别在于它们操作的环境不同。sem需要在真空环境中进行,而afm是在空气中或液体环境中操作。因此如果是要测定液体中细微颗粒的形态,afm更为适合一些。通常afm扫描含水的试样是把它和扫描探针放在液体中进行的,因为afm不是以导电性为基础,所以图像和扫描模件在液体中都不会受干扰。

sem 有冷场发射的和热场发射的,还有环扫。场发射的分辨率较高,达到1nm

环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高。

还有什么不懂的的话,可以和我交流,大家共同进步。


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