怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

怎么统计sem膜孔不规则孔径分布,第1张

)先做一个N2吸附测试,得到吸附等温线;然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布;

2)比表面积可以看BET数据或langmuir数据,大部分人喜欢用BET数据;

3)孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据,这个由材料的孔径确定。

想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.


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