电镜结构和主要功能

你是问的扫描电镜SEM吗？主要由镜体部分，样品室，真空系统，各种探头比如SED和BSED、显示部分，操作面板等组成。

SEM主要是用来观察样品的微观形貌的，也可以加装EDS做样品的成分分析。

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