求助:冷场扫描电镜和热场扫描电镜的区别

求助:冷场扫描电镜和热场扫描电镜的区别,第1张

冷场:做完测试关灯丝,需要做Cleaning,灯丝束流亮度较低,成像质量较好,不适合做EDS。

热场:灯丝常亮,不需要清洁维护,灯丝亮度高,成像效果较好(相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM),EDS效果远优于冷场。

扫描电镜原理:

电子与物质相互作用会产生透射电子,弹性散射电子,能量损失电子,二次电子,背反射电子,吸收电子,X射线,俄歇电子,阴极发光和电动力等等。

电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。

电子显微镜有很多类型,主要有透射电子显微镜(简称透射电镜,TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜,SEM)两大类。

电子束通过加速电压打到样品上,称场发射。


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