谁能告诉我电镜SEM图上下面的这些英文和数据是表示什么意思，厚度么？

20KV 加速电压

放大5万倍

工作距离 11mm

ETD : E-T型二次电子探测器

Spot，束斑大小控制参数

成像模式：二次电子像

2μm 比例尺 scale

FEI 是公司名称 后边是sem型号

景深这个东西在电镜参数固定的条件下也是固定值。

SEM改变景深大概通过这么几个途径

（1）增大工作距离（WD）

（2）减小束斑尺寸（Spot）

（3）增加光阑数量

（4）有效的消除象散

另外，景深也是和放大倍数有关，在小的放大倍数下，景深要大很多。

7500F是日本电子卖的比较好的冷场，冷场的束斑较热场的要小很多，因此景深应该可以保证。

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