sem inlens模式什么意思

In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头。

__eam Booster开启的前提下工作，主要用于成高分辨的二次电子像；SE1是镜筒外的二次电子探头，用于成常规二次电子像。

_SE是镜筒内光轴上的背散射电子探头，同样在Beam Booster开启的前提下工作，用于成样品表面背散射电子像。

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