sem分析中相同倍率下wd不同有对比意义吗

SEM仪器能区分清2个点之间的最小距离就是这台仪器的最高分辨率，分辨率越高，从图像上就可能可以看出更多细致的东西；而放大倍数是指图像长度与真实观察长度的比值，片面的追求高放大倍数并没有什么实际的意义，因为它的最大放大倍数定义为：有。

工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离，但是由于每次放入不同样品的高度不一样，每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同，这均使得WD发生变化。所以，操作扫描电镜时，需要做的第一件事就是先粗略地标定WD，方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像，根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD，而后，你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意，调节WD是要靠机械马达，而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件，相比之下，前者是粗调，后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时，该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。

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