不小心用sem测了磁性怎么办

不小心用sem测了磁性怎么办,第1张

1、首先应立即加热退磁,可以用本身不带磁性的铁镊子或大头针靠近样品

2、其次先上低倍钨丝试试,磁场比较低,没有晃动或者照片异常等等的话再去上场发射。

3、最后不可用磁铁直接靠近样品进行测试即可。

1、可以把毛坯砸开观察端口截面是否有亮斑出现;(过烧)

2、可以根据以往的尺寸收缩比来看是否尺寸收缩到位,如果不到位,密度是不够的,尺寸也是偏大的;(未烧投)

3、另外,也可以借助SEM、退磁曲线、密度、来分析产品是否过烧或者未烧透。

会有影响,最好退磁后观察。如果不退磁,需要测量磁体磁通量减小到接近零的距离,以这个距离来确定SEM WD, 当然WD越大分辨率越低,不过一般看个几千倍还是没问题的。如果是冷场发射扫描电镜,一般使用的是半内物镜,即物镜磁场在样品室内部,这就需要更加注意,即使退磁的样品也要保持在磁场之外,使用较大的WD,不退磁的样品工作距离要求更大。

如果未退磁,注意磁体不要吸附在物镜表面,或者极靴孔内,尤其粉末材料,也许都是微米级别的粉末,会造成固定象散,大幅度降低电镜分辨率,用户根本不知所措,需要非常专业人员拆卸物镜来特殊处理。如果被污染的电镜是进口的,请准备10万元人民币,他们大多在国内的维修工程师根本不灵,需要洋人亲自出马,所以有不幸扫描电镜被污染的客户,尤其是大学实验室,得了恐惧症,见到磁性样品就害怕,一刀切都不给做。COXEM Beijing Office的中国工程师有这个技术,收费也不低哦。


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