可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
SEM的工作原理与使用方法 :
SEM的工作原理 扫描电镜(SEM)是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。
当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。
在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。
理论上单纯用SEM不能测出晶型,测晶型一般用XRD等仪器。扫描电镜只能观察形貌,分辨率可达亚微米级别。不过对于特定的样品,如果具有明确的晶型,借助SEM形貌有可能分析出晶型(比如一种物质只有区别明显的两种晶型,借助确定的形貌可以推断是那种晶型)。另外,SEM通过加装EBSD附件,通过观察也有可能观察晶型
扫描电镜可以观察生物样品!当前SEM在生物组织形态结构方面研究普遍应用。你向问的问题似乎是:SEM为什么不能观察活的生物样品?
传统扫描电镜工作模式需要将样品处于高真空环境下,因此对样品的基本要求是干燥、无油、导电。
这种条件下,无法满足活生物样观察!但活的生物样品在一定时空下的形态,通过生物组织固定,脱水,干燥,喷金即可观察,可以了解在有生命状态下的组织结构特征。
为了实现活的生物样品观察,美国公司开发的环境扫描电镜已经商品化!
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