sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办

sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办,第1张

要是放大倍数要求不大的话,建议采用环境扫描电镜,那个在20000倍以下,成像效果挺好的。我的是喷金以后,用场发射电镜,效果也挺好的啊

你是不是用手不小心抹掉了,二氧化硅薄膜很脆弱的

你的镀膜喷的是什么金属,金,pt,Pt/Pa,还是Ir?如果是Au,Pt的可以用王水溶掉吧我没做过,只是猜测。至于镀层厚度,要看你的具体情况了,几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点,如果想观察到清晰图像,不被样品的二次电子干扰,可能就要厚一点。

金属镀膜法和组织导电法

镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少

但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象

一般导电膜无外乎三种材料:Au,Pt,C

专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜

因为它对图像的扭曲最小。


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