桌面台扫描电镜(Desktop 或者Tabletop或者Benchtop, MINI sem)
目前市场上产品大多只是在原有传统钨灯丝扫描电镜基础上不但进行缩小而且做了大量简化,把众多工作条件的调节范围限定在很小的区域甚至固定某些参数,或者采用更大的步距来简化调节,通过以上种种技术手段,也就是归结到所谓专业机向简易机的退变。在这之所以不强调以往的小型机是傻瓜机式的全自动或者操作更加便捷,因为这样容易误导。桌面台式机并不是当代的创造,而是伴随扫描电子显微镜的发展一直存在的小型化简易化产品,只不过时代不同,影响不如当代这般“尽人皆知”。如下图的Desk-Top Mini sem,如果对扫描电镜发展历史比较熟悉,或者说对电器控制比较熟悉,应该大体可以判断是什么年代的产品。从这个名字,也知道现在是谁在照搬这个历史概念。这个产品,一般人很难联想到全自动傻瓜机,更不要说联想到普遍使用的数码机,只能说这是一台比较原始简陋的仪器。然而经过当代技术的包装以及概念的偷换,就把它描绘成全自动的傻瓜机,操作的方便性优于大型机,力图遮掩其简陋机的本质,是非常不切实际。到现在为止常规大型机的各项技术发展都要优先于小型机,包括各种自动控制功能,同一个时代的常规大型机的操作便捷便利性只能比小型机好而不是差。要说差,唯一的原因就是常规大型机给更加专业用户提供了更多选择,然而这丝毫不影响一般用户的操作方便,如果大型机如此方便的操作还用不好,那么小型机也同样用不好,这个道理很浅显。
那么当前是否所有的小型台式机都是简陋型的呢?COXEM品牌的EM-20小型台式扫描电镜给出了否定答案。EM-20是小型化的产品,但不是简单化的产品,而是移植了大型钨灯丝扫描电镜核心技术的专业化产品。
*全自动高亮度电子枪,全数字化高压电源模块,0.5KV~20KV范围内调节和常规大型扫描电镜相同;
*双聚光镜设计 Spot size调节设置10档手动调节,并且Spot size可以和放大倍数或者图像像素数量匹配的自动调节,尤其使用触摸屏操作时,更加方便;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能,和更强大的长焦观测能力;
*由于设计为7nm分辨率 ,因此所有光阑都是固定的,物镜光阑选择最佳的尺寸,兼顾高分辨和优秀图像质量;
*使用COXEM系列大型扫描电镜高级的自动聚焦,自动消象散算法,使得自动功能更加实用;
*实时直方图监测亮度对比度并可实现自动调节;
*采用合理的四轴样品台,X Y为标配两轴计算机导航的马达驱动,R旋转功能作为辅助,Z轴调节范围5~60mm
以上配置可以实现对电子光学的电子束d、 i、 a、V 这四个重要参数进行类似大型钨灯丝扫描电镜的调节,可以分别实现高分辨,高反差,大景深,低加速电压这四种观察模式,而辅助的自动化调节手段,让这些模式的实现轻松而至,最大限度的丰富了材料科学工作者的视野,这充分体现COXEM品牌的核心价值之一,追求操作轻爽及卓越视觉质量。然而如此卓越品质的产品,定价在台式机市场中几乎是最低的,COXEM最大限度的让利于客户,寄希望与市场客户共同成长,这又充分体现COXEM品牌的核心价值之二,以经济友好的方式,实现普及应用。
20KV 加速电压放大5万倍
工作距离 11mm
ETD : E-T型二次电子探测器
Spot,束斑大小控制参数
成像模式:二次电子像
2μm 比例尺 scale
FEI 是公司名称 后边是sem型号
定义:死时间=(输入计数率-输出计数率)/输入计数率*100%1、死时间=0%时, 输入计数率=输出计数率 输入输出的关系曲线在线性线性区,只有在低输入计数率时,一般小于2000cps,输入输出才相等。
2、超过2000cps,输出增长速度小于输入增长速度,但还是上升的,一般商品化EDS当死时间达到30%左右,达到输出峰值。
3、输入计数率进一步增加,输出计数率开始下降,死时间快速恶化。直到输出计数率=0cps,
这时死时间=100%时,系统电器被锁死,需要重新启动。
由以上规律可以找到降低死时间的方法:系统正常情况下。
1、减低输入计数率,可将死时间降低并调整到合适的位置,具体方法如下:
1.1、可降低探针电流(加大聚光镜激励,减小SpotSize;更换小的物镜光阑;降低电子枪亮度,都可实现降低探针束流,关键看具体需要);
1.2、或者减小探测器几何收集角度(加大探测器到样品的距离),
1.3、或者改变加速电压,向有利于降低X射线产额的方向,或者改变WD(这个一般不足取),
1.4、减小样品台倾斜角度,如果之前样品台向探测器方向倾斜,可以降低倾斜角度(X射线的空间分布一般以样品表面法线方向呈余弦分布)。
2、提高输出计数率:在输入计数率一定条件下,如果初期设置的处理时间较长,可以降低处理时间常数,也会降低死时间,但分辨率会降低。
如果系统死时间异常增大可检查:
1、是否有外来光源进入探头,如CCD红外灯、真空规管、LED等其他光源关闭。(额外增加了输入计数率)。
2.检查电源接地情况是否良好,尽量使电镜外壳、能谱仪控制器、和电源同地(干扰)。
3.检查能谱仪信号线是否和分子泵、变压器等强磁场电场缠绕,这有可能引入噪声(额外引入不正常信号,增加输入计数率)。
4.进行探测器校准。鉴别器零稳
5.检查探测器窗口是否破裂,如破只能返修。
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