EDS:能量弥散X射线谱(Energy-dispersive X-ray spectroscopy
SEM:scanning electron microscope扫描电子显微镜
FE-SEM:Field-Emission Scanning Electron Microscope场发射扫描电子显微镜
STM:scanning tunneling microscope扫描隧道显微镜
AFM:Atomic force microscopy原子力显微镜
XRD:X-ray diffractionX射线衍射
XPS:X-ray photoelectron spectroscopyX射线光电子能谱
FT-IR:Fourier transform infrared spectroscopy 傅立叶红外光谱仪
UV-VISQ:Ultraviolet–visible spectroscopy 紫外可见吸收光谱
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图,可以告诉你样品的形貌特这,尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的,给出的是立体图,对观察棒状,球状,等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的,一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成,不能代表样品整体组成。进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,背散射电子等,特征能量损失电子。
SEM
常常使用:EDS,WDS
分光特征X射线;
俄歇电子需要超高真空环境,往往以俄歇电子谱仪的商品出现,也可归入扫描电镜范畴;背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息,定性的了解原子序数高低或者材料密度分布;阴极荧光光谱范围在紫外,可见或红外波段所发射的电磁辐射,这种现象可以被用来检测矿物,半导体和生物样品中痕量元素(ppm级别,用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的)的分布。
TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子,
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