SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.
区别:
SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
TEM :Transmission Electron Microscopy 透射电镜EDS:能量弥散X射线谱(Energy-dispersive X-ray spectroscopy
SEM:scanning electron microscope扫描电子显微镜
FE-SEM:Field-Emission Scanning Electron Microscope场发射扫描电子显微镜
STM:scanning tunneling microscope扫描隧道显微镜
AFM:Atomic force microscopy原子力显微镜
XRD:X-ray diffractionX射线衍射
XPS:X-ray photoelectron spectroscopyX射线光电子能谱
FT-IR:Fourier transform infrared spectroscopy 傅立叶红外光谱仪
UV-VISQ:Ultraviolet–visible spectroscopy 紫外可见吸收光谱
SEM是scanning electron microscope的缩写,中文即扫描电子显微镜,扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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