SEM和TEM区别是什么?

SEM和TEM区别是什么?,第1张

SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.

区别:

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。

TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。

TEM :Transmission Electron Microscopy 透射电镜

EDS:能量弥散X射线谱(Energy-dispersive X-ray spectroscopy

SEM:scanning electron microscope扫描电子显微镜

FE-SEM:Field-Emission Scanning Electron Microscope场发射扫描电子显微镜

STM:scanning tunneling microscope扫描隧道显微镜

AFM:Atomic force microscopy原子力显微镜

XRD:X-ray diffractionX射线衍射

XPS:X-ray photoelectron spectroscopyX射线光电子能谱

FT-IR:Fourier transform infrared spectroscopy 傅立叶红外光谱仪

UV-VISQ:Ultraviolet–visible spectroscopy 紫外可见吸收光谱


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