你好···请问纳米级材料粒径检测时采用SEM的具体步骤能详细介绍一下么··谢谢··做实验有点急用··

其实，SEM只能知道局部的大致粒径，并不能得到粒径分布的完整信息。做粒径分布测试应该通过激光粒度仪来完成，可以输出完整的粒径分布曲线报告。

另外，要对经过分散的颗粒（液相）进行SEM拍照，需要再做涂膜后干燥才能操作，实际上在干燥的过程中，再小的纳米颗粒都会重新团聚到一起了，基本上拍出来的照片看到的应该都是微米级的了。要得到纳米材料的真实情况照片，必须保持分散液状态来做电镜扫描。

粒度分析有多种方法，其中图像法粒度分析对于固体材料的相分散研究，具有重要意义。当然也可以进行粉体材料的粒度分析，但需要良好的制样，获得可以接受的结果。

您可以参考：

SEM/EDS自动粒度分析系统：这是扫描电镜配套的EDS分析附件所具备的高级分析功能，这个软件很贵，一般要几万元人民币。

http://coxem2010.blog.163.com/blog/static/16510375720115227572397/

免费资源推荐：图像法粒径分布计算软件

这个是手动进行分析，是国内科研人员业余时间自己开发的简单分析软件，您可以试验一下：

http://coxem2010.blog.163.com/blog/static/16510375720119201448149/

不知道你的纳米分布范围，一般激光粒度仪达不到几个纳米的地步，几十个纳米以上还是可以用激光粒度仪侧的。再小的尺度可以采用动态光散射的方法测定，这是国际上比较通用的方法。

我一般不建议采用做SEM或TEM统计的方法来得到粒径分布，因为粒径分布是大量粒子的统计结果，就做几张照片统计太片面，不太准，而且一般比激光粒度仪测得的数据偏小。

另外小角度XRD也可以测定粒径的分布。

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