为什么SEM(SU9000)需要flashing?是由于灯丝噪音吗,不同的机台做flashing的频率和间隔时间为什么不同?

为什么SEM(SU9000)需要flashing?是由于灯丝噪音吗,不同的机台做flashing的频率和间隔时间为什么不同?,第1张

SU9000是冷场发射电子枪,即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子, 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数,并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度,10的负8Pa,可以降低气体的吸附速率,但无法避免,对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上(flash),将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下,针尖因为离子轰击很快损坏。

8-12小时必需进行Flash脱气恢复,然后需要等待30分钟,发射束流才会相对稳定。

而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上,气体分子不会吸附在阴极尖端,所以不需要Flash.

简单的理解就是机器需要休了。

这是因为SEM长时间工作,电子枪上沉积的不少污染电荷,需要flash步骤来回复电子枪的正常工作状态。连续做样的情况下normalflash一般最长8个小时左右需要做一次。

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。


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