sem的mapping扫描的范围越大越好吗

是的。mapping就是扫描每个点，然后把每个点得到的能谱图按特定的元素峰画图，sem的mapping扫描的范围越大越好，在样品中可穿透和散射的范围越大，伴随着产生的X射线信号范围也越大，也就越好。

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

原子力AFM分辨率很高，通常看物质表面形貌，纵向达到10nm级是无压力的。透射TEM一般标尺可以到20nm，不过具体看材料能做到多少，如果是高分辨HRTEM，那是用来看晶格的，标尺甚至可以达到2nm。扫描SEM的话至少可以到微米级，场发射扫描电镜FESEM就更高了，材料导电性好一般可以到100nm的标尺还很清晰。选择原子力显微镜推荐Park原子力显微镜的Park X20。

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