如何解决SEM图像的漂移问题

如何解决SEM图像的漂移问题,第1张

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

这个差异有点大可能是制备扫描样品时,样品团聚造成的,而透射可能是样品分散可以做个对比实验,制备扫描样品时,也采用透射的方法,滴在玻璃片上或是硅片上,再看看形貌,来判断一下什么原因造成的形貌差异


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