如何清洗SEM探头

如何清洗SEM探头,第1张

把样品仓打开,拿个吸尘器套上真空泵用的接管吸一吸一般就可以。一定小心,有些磁性粉末有可能进入镜筒,严重者电子束下来的很少,图像亮度非常低,用此办法简单有效。

如果图像亮度影响不大,可以用脱脂棉签沾上少许酒精,不要太湿,擦拭物镜下极靴孔,转一下拿出来换新的棉签,反复多次,直到棉签不脏为止。切忌用一个棉签反复蹭!

你的镀膜喷的是什么金属,金,pt,Pt/Pa,还是Ir?如果是Au,Pt的可以用王水溶掉吧我没做过,只是猜测。至于镀层厚度,要看你的具体情况了,几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点,如果想观察到清晰图像,不被样品的二次电子干扰,可能就要厚一点。


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