SEM工作时,电子枪发射的入射电子束打在试样表面上,向内部穿透一定的深度,由于弹性和非弹性散射形成一个呈梨状的电子作用体积。电子与试样作用产生的物理信息,均由体积内产生。
二次电子是入射电子在试样内部穿透和散射过程中,将原子的电子轰击出原子系统而射出试样表面的电子,其中大部分属于价子激发,所以能量很小,一般小于50eV。因此二次电子探测体积较小。二次电子发射区的直径仅比束斑直径稍大一些,因而可获得较高的分辨率。
二次电子像的衬度取决于试样上某一点发射出来的二次电子数量。电子发射区越接近表面,发射出的二次电子就越多,这与入射电子束与试样表面法线的夹角有关。试样的棱边、尖峰等处产生的二次电子较多,相应的二次电子像较亮;而平台、凹坑处射出的二次电子较少,相应的二次电子像较暗。根据二次电子像的明暗衬度,即可知道试样表面凹凸不平的状况,二次电子像是试样表面的形貌放大像。
SEM内在试样的斜上方放置有探测器来接受这些电子。接受二次电子的装置简称为检测器,它是由聚焦极、加速极、闪烁体、光导管和光电倍增管组成。在闪烁体前面装一筒装电极,称为聚焦极,又称收集极。在其前端加一栅网,在聚焦极上加250-300V的正电压。二次电子被此电压吸引,然后又被带有10kV正电压的加速极加速,穿过网眼打在加速极的闪烁体上,产生光信号,经光导管输送到光电倍增管,光信号转变为电子信号。最后输送到显示系统,显示出二次电子像。
Ascii 代码表Ascii 0 {Nulo, Sem Som}
Ascii 1
Ascii 2
Ascii 3
Ascii 4
Ascii 5
Ascii 6
Ascii 7
Ascii 8 {BackSpace}
Ascii 9 {Tab}
Ascii 10
Ascii 11
Ascii 12
Ascii 13 {Enter}
Ascii 14
Ascii 15
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Ascii 19
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Ascii 21
Ascii 22
Ascii 23
Ascii 24
Ascii 25
Ascii 26
Ascii 27
Ascii 28
Ascii 29
- Ascii 30
- Ascii 31
Ascii 32 {Espaço}
! Ascii 33
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( Ascii 40
) Ascii 41
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. Ascii 46
/ Ascii 47
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7 Ascii 55
8 Ascii 56
9 Ascii 57
: Ascii 58
Ascii 59
<Ascii 60
= Ascii 61
>Ascii 62
? Ascii 63
@ Ascii 64
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Z Ascii 90
[ Ascii 91
\ Ascii 92
] Ascii 93
^ Ascii 94
_ Ascii 95
` Ascii 96
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c Ascii 99
d Ascii 100
e Ascii 101
f Ascii 102
g Ascii 103
h Ascii 104
i Ascii 105
j Ascii 106
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v Ascii 118
w Ascii 119
x Ascii 120
y Ascii 121
z Ascii 122
{ Ascii 123
| Ascii 124
} Ascii 125
~ Ascii 126
Ascii 127
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