ocd光学线宽测量和cd-sem的区别

SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可能会引起放大倍数漂移，因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题，这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似，许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高！还有SEM作为材料分析平台，做化学成分分析，晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结：精度靠方法和条件保证！前提是方法一致，条件不要变化！！

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

SEM650B装载机

·国Ⅱ排放发动机，优化变矩器匹配，大幅度提高牵引力，同时更环保省油

·铲斗加大，生产效率提高12%

·19MPa工作液压系统压力，高效节能单杆操纵，省力便捷

·加长轴距，配重更大，负载能力更大燃油箱后移，机器稳定性更好，加油更方便

·全新冷却系统设计，可满足-20~43℃环境温度要求，并可选装满足50℃高温要求的冷却系统

·提高转向压力，转向更轻松快捷

·发动机安装增加减震装置，进一步改进驾驶室密封性，降低震动和噪音

·卡特彼勒无锡工厂制造工作泵、SAE/DIN标准高压油管，国际知名品牌转向泵、先导阀，并优化管路设计

·制动钳增加防护罩，延长制动盘使用寿命，提高制动系统可靠性

·全新电器系统，更加安全、可靠、操作方便

·整机设计满足国家强制性噪音及安全标准要求

SEM652B装载机

·国Ⅱ排放发动机，经低转速、低速大扭矩优化设计，更加节能、高效、可靠

·17MPa高压设计，卡特彼勒无锡工厂生产DIN标准高压管路，更加可靠

·优化整机布置，提高整机稳定性

·制动钳增加防护罩，延长制动盘使用寿命，提高制动系统可靠性

·采用双泵合流、转向优先、负荷传感全液压转向液压系统，整机操作更加灵活、轻便，作业效率更高

·传动系统优化设计，主要离合器采用高性能摩擦片，提高传动系统的可靠性、作业效率及燃油经济性

·短轴距设计，整机更加适应狭窄场地作业，作业效率更高

·优化工作装置，提高举升掘起能力

·电器系统优化升级，采用高等级防水防尘插件保障系统更加安全可靠

·整机设计满足国家强制性噪音及安全标准要求

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