样品制备-使用离子溅射仪改善SEM成像

离子溅射仪为扫描电子显微镜（SEM）最基本的样品制备仪器，在一些情况下，通过使用离子溅射仪可以帮助SEM获得更好的图像及特征点。

  SEM基本上是可以对所以类型的试样进行图像处理，粉末，半导体，高分子材料，陶瓷，金属，地质材料，生物样品等。然而有些特殊的样品通过SEM收集高质量的照片，是需要操作者使用额外的样品制备的方法，这个额外的样品制备方法，通常是在试样的表面溅射一层导电薄膜材料，通常在5-20nm左右。

   需要溅射的样品

非导电材料

通常我们需要溅射喷金的非导电材料，由于它们的材料本身的非导电性，其表面带有电子陷阱，这种表面的电荷的聚集，容易造成样品表面的放电现象，是严重影响到样品的图像质量。为了消除放电现象，我们通常的解决问题的方法是降低扫描电镜样品室的真空度，这样可以将样品表面的引入正电荷的分子，它可以与放电电子相互中和，从而消除放电现象，但是此种方法并不是获取高分辨率的图像的有限办法。

获取高分辨率高质量的SEM图像，建议操作人员使用 离子溅射仪 ，在样品表面溅射一层金属薄膜，将放电电子从样品表面转移走。

电子束敏感样品

　 对于SEM需要喷金的另外一类样品室电子束敏感样品。这类样品通常是生物样品和高分子样品，尤其是锂电池隔膜等。SEM的电子束具有较高的能力，在电子轰击样品的过程中，他会在样品的表面形成能力的聚集，会对样品的表面形成灼伤，从而损坏样品表面的微观相貌，这种情况下，我们会在非电子束敏感样品的表面溅射一层金属薄膜从而起到保护作用，防止样品的损失。

为了准确高分辨率高质量的SEM图像，建议操作人员选择使用离子溅射仪，在样品表面溅射一层导电通路。 离子溅射仪 的样品制备技术可以有效的提高SEM图像的质量和分辨率，在扫描电子显微镜的成像过程中，溅射材料可以有效的提高信噪比，从而获取更高质量的成像。

离子溅射仪的缺点

　 由于操作简单，在使用离子溅射仪的过程中，操作人员大可不必有太多的顾虑，在操作人员需要不断调整离子溅射仪的参数，寻找合适的溅射效果，另外离子溅射有一个缺点是，溅射后的样品，不再是原始的材料，元素的衬度信息会有所丢失。但在大多数的情况下，通过多次模式参数，操作人员是可以既能够得到高分辨高质量的图像，又不会丢失样品的原始信息。

溅射材料

　 通常溅射的材料是金属材料，因为导电性高，溅射颗粒小，例如我公司生产的GVC-2000磁控离子溅射仪，在溅射黄金靶材的时候，我们可以达到5-10nm的金属颗粒，如果选用铂金颗粒的直径会更小达到5nm以内，此款仪器主要配备各大电镜厂家生产的场方式电镜，正是因为溅射的颗粒小，在高分辨下，图像是没有颗粒感，可以得到较高的质量的电镜图像。

  此外，如果需要EDS能谱分析时，SEM操作人，可以通过EDS分析软件屏蔽靶材的元素选项，从而不会影响X射线与其他的元素的峰值发生冲突。

当然，我公司生产的 GVC-2000磁控离子溅射仪 ，可以支持多种靶材的选项，例如，铬，银，铜，铱等，如铜，铝等是需要接入氩气的，仪器预留好了氩气接口，可以支持链接氩气瓶使用，从而得到更小的金属颗粒，获取更高分辨率的图像。

https://www.microhezao.com

调整样品台倾斜角度！一种所谓机械对中样品台在这个调解过程中，虽然不能精确的保证样品倾斜时严格以同一个轴线来调整，但基本观察视野不会跑，不离焦！这样翻过来调过去的看，你就看清楚了！

稍微多讲点有关EM立体成像技术：

1950年代，美国科学家在实验室，第一次使用SEM弄出了立体对，那时SEM还没有商品化！在一般摄影上被称作全息照相！

现在FEI公司有这样的选购软件，可以用在SEM或TEM上。自动控制样品台按照一定角度间隔倾斜，且保证倾斜同轴，每个角度保存一幅图像，然后把N个图像合成一个立体图像，是最为精准的技术。SEM形成表面立体形貌像，TEM的立体像和CT效果相同。由于要求样品台精度极高，且运算复杂，价格贼贵！

为了简化操作，节约成本，只看个大概！最常用的立体对方法是样品角度不变，电子束以一定允许的夹角从两个方向分别扫描一张图像，一张红色伪彩，一张绿色伪彩。把两张照片叠加，形成红绿重影像！然后戴个红绿镜片眼镜，也可看到立体图像,解决你的问题！

除了立体对技术，还有就是线扫描Y增益的示波器技术！

有些扫描电镜带有示波器，扫描发生器让电子束在划定的直线上扫描，然后把信号曲线画在直线上方，因为图像信号强度是电子束与像素表面角度的函数，一般认为曲线的高低起伏代表样品的高低起伏。如果将一帧图像均做Y增益，即可用软件合成一幅立体表面形貌像。有些厂商忽悠客户说此为表面立体像，其实很不严谨，因为很多时候会有假象存在,基本上没有实用价值，很多厂商取消了这个功能！

如果没有做以上的多角度观察，那就要考验成像信号的判断。就这张图像而言，可以肯定：金字塔在基底上凸起！棱角凸起信号强度高，发亮；凹陷信号强度低，发暗！

comparable

adj.

可比较的, 比得上的

comparative

adj.

比较的, 相当的

assemble

vt.

集合, 聚集, 装配

vi.

集合

assemble

v.（动词）

v.tr.（及物动词）

To bring or call together into a group or whole:

召集：集合或召集到一起成为一组或整体：

assembled the jury.

召集陪审团

To fit together the parts or pieces of:

装配：把配件或零件装配在一起：

assemble a machineassemble data.

装配机器；汇集数据

v.intr.（不及物动词）

To gather togethercongregate.See Synonyms at gather

集合：聚集在一起；聚集参见 gather

Middle English assemblen

中古英语 assemblen

from Old French assembler

源自 古法语 assembler

from Vulgar Latin *assimul³e

源自 俗拉丁语 *assimul³e

Latin ad- [ad-]

拉丁语 ad- [前缀，表“朝，向”]

Latin simul [together] * see sem- 1

拉丁语 simul [一起] *参见 sem- 1

gather

n.

集合, 聚集

vi.

集合, 聚集, 渐增, 蹙眉, 化脓

vt.

使聚集, 搜集, 积聚, 推断

gather

To cause to come togetherconvene.

集拢，聚集：使聚在一起；集合

To accumulate (something) graduallyamass.

积聚：逐渐地堆积某物；积聚

To harvest or pick:

采集，采收：收获或采摘：

gather flowersgather wild foods.

摘花；采野食

To gain by a process of gradual increase:

渐增：因一逐渐增加的过程而取得：

gather speed.

逐渐加速

To collect into one placeassemble.

收集：集中于一地；收集

To pick up and enfold:

抱起：拾起来并且抱紧：

gathered the kittens into her arms.

把一群小猫拥入她的怀中

Printing To arrange (signatures) in sequence for bookbinding.

【印刷术】 整理装订：把折叠的（装订号码）按顺序排列以利于装订

To draw into small folds or puckers, as by pulling a thread through cloth.

打摺：折叠形成小的皱纹或褶皱，比如拉一根线通过一块布

To contract and wrinkle (the brow).

收缩或皱（眉）

To draw about or bring (one thing) closer to something else:

拉上，拉近：使（某一事物）离另外一事物更近：

gathered the shawl about my shoulders.

把披肩披在我肩上

To concludeinfer:

结论：做出结论；推论：

I gather that a decision has not been reached.

我推断仍没有做出任何决定

To summon upmuster:

号召；鼓起：

gathered up his courage.

鼓起他的勇气

To attract or be a center of attraction for:

吸引：吸引，成为一注意力集中的焦点：

The parade gathered a large crowd.

游行引来许多群众

v.intr.（不及物动词）

To come together in a groupassemble.

集合：集合成为一组；聚集

To accumulate:

累积：

Dark clouds are gathering.

乌云密布

To grow or increase by degrees.

渐增：循序渐近地成长或增加

To come to a head, as a boilfester.

发展成脓肿；化脓

To forage for wild foodstuffs.

搜索野味

n.（名词）

The act or an instance of gathering.

聚集：聚集的行为或实例

A quantity gathered.

收集的数量：聚集在一起的数量

A small fold or pucker made by gathering cloth.

衣褶：由折叠布匹而产生的小皱纹或褶子

Middle English getheren, gaderen

中古英语 getheren, gaderen

from Old English gadrian * see ghedh-

源自 古英语 gadrian *参见 ghedh-

gath“erer

n.（名词）

gather， collect， assemble， congregate， accumulate， amass

These verbs mean to bring or come together in a group or mass.

这些动词的意思是：使或聚集成为一组或一堆。

Gather is the most general term and therefore the most widely applicable:

Gather 是最概括的说法，因此也是应用最广泛的：

The tour guide gathered the visitors in the hotel lobby.

旅游团的导游把参观者们聚集在旅馆大厅。

A group of students gathered in front of the administration building to demand divestiture.

一群学生聚集在行政大楼前要求被剥夺的权利。

I gathered sticks as kindling for the fire.

我收集了一些棍子作为引火物。

Clouds gather before a thunderstorm.

在风暴来临之前云层聚集。

Collect is often interchangeable with gather:

Collect 通常可与gather互换：

A proctor will collect (or gather ) the examination papers at the end of the hour.

学监将于一小时之后收（或 gather ） 考卷。

Tears collected (or gathered ) in her eyes. Frequently, however, collect refers to the careful selection of like or related things that become part of an organized whole:

眼泪在（或 gather ） 她眼中。 但是通常collect 指的是仔细选择相似或有联系的东西， 以变成有组织的整体的一部分：

collects antiques

收集古物；

collected stamps.

集邮。

Assemble in all of its senses implies that the persons or things involved have a definite and usually close relationship. With respect to persons the term suggests convening out of common interest or purpose:

Assemble 所有的意义都表明所涉及的人或物有确定的通常是紧密的联系。这个词表示涉及的人是出于共同的兴趣或目的而聚集：

Assembling an able staff was more difficult than raising the funds to finance the venture.

召集一个有能力的小组要比筹资支持这次冒险更困难。

The new legislature will assemble in January. With respect to things assemble implies gathering and fitting together components, as of a structure or machine:

立法院将于一月召集会议。 涉及到事物，assemble 表示收集并把各成分安装在一起， 作为一构造或机器：

The curator is devoting time and energy to assembling an interesting exhibit of Stone Age artifacts.

保管员正在花费时间和精力组织一次有趣的石器时代艺术品展览。

Congregate refers chiefly to the coming together of a large number of persons or animals:

Congregate 主要指一大群人或动物聚集到一起：

After the lecture the physicians congregated in the library to compare notes.

演讲后医师们聚集在图书馆比较笔记。

Accumulate applies to the increase of like or related things over an extended period:

Accumulate 指相似或有联系的事物在一较长时期内的增长：

They gradually accumulated enough capital to be financially secure after retirement.

他们逐渐聚集了足够的资金，以确保退休之后有经济上的保证。

Old newspapers and magazines are accumulating in the basement.

旧报纸和旧杂志堆放在地下室中。

Amass refers to the collection or accumulation of things, especially valuable things, to form an imposing quantity:

Amass 指收集事物或获得事物；尤指价值高的东西，去形成一较大数量：

families who amassed great fortunes in the days before income tax. See also Synonyms at reap

那些在征集所得税之前聚敛了大量财富的家庭 参见同义词 reap

collect

v.

收集, 聚集, 集中, 搜集

adj.

由收件人付款的

adv.

由收件人付款地

collect

To bring together in a group or massgather.

收集：拿到一起使成为一组或一个团体；收集

To accumulate as a hobby or for study.

收集：作为一个爱好或为学习而聚积

To call for and obtain payment of:

收款，收帐：要求获得支付：

collect taxes.

收税

To recover control of:

使镇定：重新控制住：

collect one's emotions.

镇定情绪

To call for (someone)pick up:

接走：要求（某人）；接走：

collected the children and drove home.

接走孩子开车回家

v.intr.（不及物动词）

To come together in a group or massgather.See Synonyms at gather

聚集：来到一起成为一组或一个团体；聚集参见 gather

To take in payments or donations:

募集：接受付款或捐款：

collecting for charity.

慈善募捐

adv.（副词）

adj.Abbr. col., coll.（形容词）缩写 col.， coll.

With payment to be made by the receiver:

对方付款地：由收到者付款地：

called collecta collect phone call.

打对方付款电话；对方付款电话

Middle English collecten

中古英语 collecten

from Latin colligere coll¶ct-

源自 拉丁语 colligere coll¶ct-

com- [com-]

com- [前缀，表“与”]

legere [to gather] * see leg-

legere [聚集] *参见 leg-

collect

col.lect 2

AHD:[k¼l“¹kt, -µkt”]

D.J.[6k%likt, -7ekt]

K.K.[6k$l!kt, -7Wkt]

n.Ecclesiastical （名词）【基督教会】

A brief formal prayer that is used in various Western liturgies before the epistle and that varies with the day.

短祷告：在特定日子里所念的短的正式的祈祷文

Middle English collecte

中古英语 collecte

from Old French

源自 古法语

from Medieval Latin coll¶a [short for] (½r³ti½ ad) coll¶ctam [(prayer at the) gathering]

源自 中世纪拉丁语 coll¶a [] (½r³ti½ ad) coll¶ctam的缩写 [（祈祷）集会]

from Latin coll¶s [gathered] [past participle of] colligere [to gather] * see collect 1

源自 拉丁语 coll¶s [聚集在一起] [] colligere的过去分词 [聚集] *参见 collect1

collect

来自拉丁词 collectus=col-集合+legere 收集，lect 收集，选择，如elect 选举

collect,gather,assemble是词义很近的同义词，它们的一般含义是“收集”或“使…集中到一起”。

collect 通常表示有目的或有挑选的收集，而gather 一般表示由少积多的收集。

He knew I collected birds' eggs…

他知道我收集各种鸟蛋……

He collected a lot of valuable stamps.

他收集了许多有价值的邮票。

He was a collector.

他做过收租人。

The teacher collected all the pupils in front of the classroom buildings.

老师把小学生招集在教学楼前。

The pirates would often bury gold in the cave and then failed to collect it.

海盗常把金子埋藏在山洞里，而后来又没能取走。

此外，gather的用法较广泛，能组成不少的习语。如：be gathered to one's fathers(死亡)，gather the brows (眉)，gather oneself together(振奋精神)。collect 和gather 有时虽然可以换用(如：He collected his belongings and went away. 此句中的 collected 便可换以gathered, 句子的意思并不改变。)但是collect one's thoughts 与gather one's thoughts 之间便有明显的含义差别，前者的意思是把自己的思想有条理地组织起来，后者的意思是把分散了的思想集中起来。collect money 表示为某目的而收款或募款，而gather money 则表示积钱。

A large crowed gathered under the Town Hall clock.

一大群人聚集在市政厅的大钟下。

The whole village has been working day and night gathering and threshing this year's crop before the September rains.

全村日夜辛苦地干着，要在9月的雨季之前收割并打完今年的庄稼。

The country girl gathered some firewood.

那个农家姑娘拾了些柴火。

assemble 强调把数个个体紧密地联合在一起，或者表示这种联合是自觉的而且有一定的目的的。

The students assemble for class at 8 o'clock in the morning.

学生早上八时聚集在一起上课。

It was here the scattered forces of the revolution assembled in the autumn of 1928.

就是在这里，分散了的革命武装力量于1928年秋季聚集起来了。

The workers who assemble cars work very skilfully.

装配汽车的工人们干得很熟练。

accumulate

To gatv.

积聚, 堆积

her or pile upamass.See Synonyms at gather

收集，堆集；积累参见 gather

v.intr.（不及物动词）

To mount upincrease.

增长；增加

Latin accumul³e accumul³t-

拉丁语 accumul³e accumul³t-

ad- [ad-]

ad- [ad-前缀]

cumul³e [to pile up] from cumulus [heap] * see keu…-

cumul³e [堆积] 源自 cumulus [堆] *参见 keu…-

accu“mulable

AHD:[-l…-b…l] （形容词）

accumulate

来自拉丁语 accumulatus<accumulare<ad-=to+cumulare 堆积

accumulate,amass这两个词都可解释为“积累”

accumulate 强调“经过一段比较长的时间由少积多的积累”，使用范围较广，似乎凡是数量方面的增长都可以表示。

However, as the evidence began to accumulate, experts from the Zoo felt obliged to investigate.

然而，随着迹象开始积聚，伦敦动物园的专家们感到有必要进行调查了。

amass 强调“大量的聚集”，常用于财富、信息、所有物等的聚集，这种积累可能一下子完成，也可能在短期内完成，也可能在比较长的时间内完成，但是数量总是很大的。

People tend to amass possessions, sometimes without being aware of doing so.

人们倾向于积攒东西，有的并未意识到这样做。

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