分辨率高。。几个nm
景深大
成本高
样品可能需要前处理
操作较复杂
以下抄来的:
和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜SEM(Scanning Electron Microscope)具有以下特点:
(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。
(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。
(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。
(五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。
(六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。
(七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
可以。SEM 中有三个扫描圈:物镜极靴内的扫描线圈是用于电子探针在样品表面扫描;观察和照相用显象管中的扫描线圈是用于控制阴极摄像管(CRT)中的电子束以便在荧光平上作同步扫描。SEM进行形貌分析时都采用光栅扫描方式。SEM 的倍率放大是通过改变镜筒中扫描电圈电流大小来控制的,这样就可以改变样品扫描区域大小,进而改变倍数。材料的表征方法有纳米粒子的XRD表征、纳米粒子透射电子显微镜及光谱分析、纳米粒子的扫描透射电子显微术、纳米团簇的扫描探针显微术、纳米材料光谱学和自组装纳米结构材料的核磁共振表征。
常用材料表征手段
1. 微观形貌
形貌分析的主要内容是分析材料的几何形貌,材料的颗粒度,及颗粒度的分布以及形貌微区的成分和物相结构等方面。
形貌分析方法主要有:扫描电子显微镜 SEM、透射电子显微镜 TEM、原子力显微镜等等。
如下图所示
2. 物相结构分析
常用的物相分析方法有X射线衍射分析、激光拉曼分析、傅里叶红外分析以及微区电子衍射分析等等。
具体方法如下图所示
3. 成分分析
体相元素成分分析是指体相元素组成及其杂质成分的分析,其方法包括原子吸收、原子发射ICP、质谱以及X射线荧光与X射线衍射分析方法其中前三种分析方法需要对样品进行溶解后再进行测定,因此属于破坏性样品分析方法而X射线荧光与衍射分析方法可以直接对固体样品进行测定因此又称为非破坏性元素分析方法。
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