表面成分太少，SEM的EDS测不出来，那还能用什么设备能测呢？

�挥幸话俚陌伞�pwang526(站内联系TA)用ICP看看，XPS也精度不够的雏烹(站内联系TA)ICP 貌似 也很贵 :rol:dafeng001(站内联系TA)看lz是测什么元素啦，对于轻元素EDS测得也不准啦，如果有时有新的物相就做XRD，如果可以挂下来 做个红外， 当然 这样看你要测的是什么元素 化学分析的方法也是可以的 总之 lz给的信息太少了songjinlong(站内联系TA)表面氟化处理了 想要测O C F Sisongjinlong(站内联系TA)Originally posted by dafeng001 at 2011-03-04 15:42:14:

我想O F Si的含量是微量的吧 我现在想用电子探针测 您看 能行吗 电子探针和EDS差不太多 都是半定量的 实在需要这个数据 还是做个元素分析吧xiaxue_326(站内联系TA)用FTIR，红外测试试试吧，也是表征成分的。

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

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