怎么用SEM看薄膜截断面

怎么用SEM看薄膜截断面,第1张

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:

献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

对了,还有一种是针对液体样品的,快速冷冻法,简单说就是液体样品放在液氮中快速冷冻,通过特殊的装置,转移到过渡舱中,再喷金,再转入观察仓。以上三种制备方法基本就全了。这个还需要你多多练习,基本方法就是这些。


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