电子显微镜 SEM 的指示灯的意思？

可能你还没有机会接触更深，也就是说还没有机会上手操作，否则一定需要培训，简单培训过后，这些都必须知道，否则连开关机都不会。

虽然不同型号标识会略有不同，但通过意思还能判断的：

Power--电镜主机的电源开关

Air-- 基本是指泄真空，往真空室放气，这样才可以打开样品仓，或者电子枪室等。

扫描电镜是高真空系统，一般是由两级或者三级真空泵串联组成，通过真空阀门和真空测量器件共同进行自动逻辑控制。

START UP -- 开始抽真空 ：第一次开机，更换样品后都需要重新抽真空，现在一般都是在软件中控制。软件中本身有指示灯，过去都在主机上用LED灯显示。只要保持抽真空状态，这个等一直亮。按AIR按钮后，真空泵停止运转，这个灯会灭。

SHUT DON-- 关机，不泄漏真空，但真空泵停止运转，可以关闭总电源，保持电镜真空腔体处于真空状态。

R.P，Ratary Pump 缩写，是前级泵，叫做旋片式机械真空泵，最高这空度0.1Pa，一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下。一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内。

M.P ，Molecular Pump缩写，是二级泵，叫做分子泵，必须在气体的分子流下工作，启动真空度在10pa 以下。

也不知道你接触的设备是哪个年代的，当前新设备基本都不用真空表，直接是数字显示实际真空度。

总之都是一个意思，估计你的设备比较老。

真空表0-10之间，0代表大气，10代表高真空，高压电源允许打开的真空度（高压电源是有真空保护装置的，真空达不到，好的电镜都会自动锁住高压电源开关，万一真空泄露，也会自动关闭高压电源）。

刚开机的时候，是因为真空室内的腔体处于一定真空状态，不是从大气开始抽的，表指示的是初始真空度，如果打开样品室，更换样品后再重新抽真空，就是从0开始了。

SEM，EDS，XRD的区别，SEM是扫描电镜，EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪。能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪，是用于物相分析的检测设备。

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM，图2-17、18、19）于20世纪60年 代问世，用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样 品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子 束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束 的轰击下发出次级电子信号。 目前扫描电镜的分辨力为6~10nm，人眼能够区别荧光屏上两个相距0.2mm的光点，则扫描电镜的最大有效放大倍率为0.2mm/10nm=20000X。

EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。使用范围：

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；

2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；

3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；

4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；

5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

X射线衍射仪是利用衍射原理，精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析，定性分析，定量分析。广泛应用于冶金、石油、化工、科研、航空航天、教学、材料生产等领域。

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