sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办

要是放大倍数要求不大的话，建议采用环境扫描电镜，那个在20000倍以下，成像效果挺好的。我的是喷金以后，用场发射电镜，效果也挺好的啊

你是不是用手不小心抹掉了，二氧化硅薄膜很脆弱的

你的镀膜喷的是什么金属，金，pt，Pt/Pa，还是Ir？如果是Au，Pt的可以用王水溶掉吧我没做过，只是猜测。至于镀层厚度，要看你的具体情况了，几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点，如果想观察到清晰图像，不被样品的二次电子干扰，可能就要厚一点。

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