怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

怎么统计sem膜孔不规则孔径分布,第1张

)先做一个N2吸附测试,得到吸附等温线;然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布;

2)比表面积可以看BET数据或langmuir数据,大部分人喜欢用BET数据;

3)孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据,这个由材料的孔径确定。

这些方法包括气体吸附法、压汞法、电子显微镜法(SEM 或 TEM)、小角 X 光散射(SAXS)和小角中子散射(SANS)等。2010年,美国分散技术公司(DT)和美国康塔仪器公司还联合开发了电声电振法,比利时 Occhio 公司开发了图像法大孔分析技术。总体来说,每种方法都在孔径分析方面有其应用的局限性。

纵观各种孔径表征的不同方法,气体吸附法是最普遍的方法,因为其孔径测量范围从0.35nm到100nm以上,涵盖了全部微孔和介孔,甚至延伸到大孔。另外,气体吸附技术相对于其它方法,容易操作,成本较低。如果气体吸附法结合压汞法,则孔径分析范围就可以覆盖从大约0.35nm到1mm的范围。气体吸附法也是测量所有表面的最佳方法,包括不规则的表面和开孔内部的面积。


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