这到底是什么?奇怪的,令人惊奇的图像传播开来

这到底是什么?奇怪的,令人惊奇的图像传播开来,第1张

一只蚊子的脚在扫描电子显微镜下放大了800倍。史蒂夫·葛希迈斯纳(Steve Gschmeissner/RPS)

一只长着恶魔角的蠕虫?某种精心制作的意大利面?一种隐约邪恶的热带花?

以上都不是。这张最近在Reddit上流传的照片,实际上是一只蚊子的脚。

在Reddit上的一篇博文中获得了32000多张的支持票,这张照片的背景并不比这多。但这张照片实际上是由摄影师史蒂夫·葛希迈斯纳制作的扫描电子显微镜拍摄的。它入围了2016皇家摄影学会国际科学图片大赛。Gschmeissner说:“从那时起,网络上已经有了相当多的信息,可能是因为它意想不到的复杂性。[壮丽的显微摄影:50个小奇迹]

这张照片显示了蚊子腿的末端,包括一只爪子、鳞片和一个带有粘着毛发的垫子。根据Gschmeissner的照片描述,这些鳞片散布在蚊子的整个身体上,但在靠近脚的地方特别密集,可能有助于保护四肢,使蚊子能够在水上降落,这些昆虫产卵的地方。

“昆虫非常棒,因为它们有这些细微的细节,Gschmeissner说,

科学艺术家

Gschmeissner在伦敦皇家外科学院拥有动物学学位和数十年使用扫描电子显微镜(SEM)进行癌症研究的经验。他在10年前退休,开始全职制作扫描电镜图像,并说从那以后,他大概卖出了25000张图像。他的客户范围从美术收藏家和媒体公司到工作科学家和专辑封面设计师。

“甚至有一个基于我的图像的时尚收藏,所以各种奇怪的东西,”Gschmeissner说。

扫描电子显微镜向要成像的物体发射一束电子束,它被镀金(一种金属),使电子从表面散射出去,返回有关其轮廓的信息。由于它们使用电子,sem具有非常高的分辨率,甚至可以成像纳米结构。(蚊子的脚被放大了800倍。)

微型世界

Gschmeissner用这种技术探索了各种各样的微型世界,其中许多都出现在他的网站“世界特写”上。在他的投资组合中有蜘蛛、千足虫和黄蜂、蛆和蚂蚁。他拍摄了酵母细胞、藻类和大麻叶子的细节。葛希迈斯纳说,由于他在癌症研究方面的背景,人体显微解剖是一个受欢迎的课题。他用扫描电镜拍摄了自己血液中的血滴,揭示了令人印象深刻的红细胞和血小板的细节。

他还拍摄了人类看不见的邻居,从在抹布和手机上发现的细菌到生活在我们口腔和肾脏里的微生物——更不用说那些你真的不想知道的螨虫了,把你的睫毛叫回家吧。他从皮肤、血液和骨骼上看到了看起来不祥的癌细胞。他还拍摄了花粉、寄生虫和家庭害虫。

Gschmeissner在伦敦中心药房的扫描电子显微镜上花时间拍摄这些照片。SEMs不捕捉颜色,所以他在Photoshop中对图像进行着色,有时是为了一种自然主义的外观,有时是为了一种更出类拔萃的艺术氛围。

“我很幸运我做了我喜欢的事情,”Gschmeissner说我仍然很享受,而且还能从中得到 *** 。当你第一次把东西放进显微镜里时,你永远不会确定你会看到什么。你仍然看到你不想看到的东西。当我厌倦了它,我会停下来,但我已经快70岁了,我还在做它。

1.总体:总体(population)是根据研究目的确定的同质的观察单位的全体,更确切的说,是同质的所有观察单位某种观察值(变量值)的集合。总体可分为有限总体和无限总体。总体中的所有单位都能够标识者为有限总体,反之为无限总体。

样本:从总体中随机抽取部分观察单位,其测量结果的集合称为样本(sample)。样本应具有代表性。所谓有代表性的样本,是指用随机抽样方法获得的样本。

2.随机抽样:随机抽样(random sampling)是指按照随机化的原则(总体中每一个观察单位都有同等的机会被选入到样本中),从总体中抽取部分观察单位的过程。随机抽样是样本具有代表性的保证。

3.变异:在自然状态下,个体间测量结果的差异称为变异(variation)。变异是生物医学研究领域普遍存在的现象。严格的说,在自然状态下,任何两个患者或研究群体间都存在差异,其表现为各种生理测量值的参差不齐。

4.计量资料:对每个观察单位用定量的方法测定某项指标量的大小,所得的资料称为计量资料(measurement data)。计量资料亦称定量资料、测量资料。.其变量值是定量的,表现为数值大小,一般有度量衡单位。如某一患者的身高(cm)、体重(kg)、红细胞计数(1012/L)、脉搏(次/分)、血压(KPa)等

计数资料:将观察单位按某种属性或类别分组,所得的观察单位数称为计数资料(count data)。计数资料亦称定性资料或分类资料。其观察值是定性的,表现为互不相容的类别或属性。如调查某地某时的男、女性人口数;治疗一批患者,其治疗效果为有效、无效的人数;调查一批少数民族居民的A、B、AB、O 四种血型的人数等。

等级资料:将观察单位按测量结果的某种属性的不同程度分组,所得各组的观察单位数,称为等级资料(ordinal data)。等级资料又称有序变量。如患者的治疗结果可分为治愈、好转、有效、无效或死亡,各种结果既是分类结果,又有顺序和等级差别,但这种差别却不能准确测量;一批肾病患者尿蛋白含量的测定结果分为 +、++、+++等。

等级资料与计数资料不同:属性分组有程度差别,各组按大小顺序排列。

等级资料与计量资料不同:每个观察单位未确切定量,故亦称为半计量资料。

5.概率:概率(probability)又称几率,是度量某一随机事件A发生可能性大小的一个数值,记为P(A),P(A)越大,说明A事件发生的可能性越大。0﹤P(A)﹤1。频率:在相同的条件下,独立重复做n 次试验,事件A 出现了m 次,则比值m/n 称为随机事件A 在n 次试验中出现的频率(freqency)。当试验重复很多次时P(A)= m/n。

6. 随机误差:随机误差(random error)又称偶然误差,是指排除了系统误差后尚存的差。它受多种因素的影响,使观察值不按方向性和系统性而随机的变化。误差变量一般服从正态分布。随机误差可以通过统计处理来估计。

抽样误差(sampling error )是指样本统计量与总体参数的差别。在总体确定的情况下,总体参数是固定的常数,统计量是在总体参数附近波动的随机变量。

7.系统误差:系统误差(systematic error)是指由于仪器未校正、测量者感官的某种偏差、医生掌握疗效标准偏高或偏低等原因,使观察值不是分散在真值的两侧,而是有方向性、系统性或周期性地偏离真值。系统误差可以通过实验设计和完善技术措施来消除或使之减少。

8.随机变量:随机变量(random variable)是指取指不能事先确定的观察结果。随机量的具体内容虽然是各式各样的,但共同的特点是不能用一个常数来表示,而且,理论上讲,每个变量的取值服从特定的概率分布。

9.参数:参数(paramater)是指总体的统计指标,如总体均数、总体率等。总体参数是固定的常数。多数情况下,总体参数是不易知道的,但可通过随机抽样抽取有代表性的样本,用算得的样本统计量估计未知的总体参数。

10.统计量:统计量(statistic)是指样本的统计指标,如样本均数、样本率等。样本统计量可用来估计总体参数。总体参数是固定的常数,统计量是在总体参数附近波动的随机变量。

11.频数表(frequency table)用来表示一批数据各观察值或在不同取值区间的出现的频繁程度(频数)。对于离散数据,每一个观察值即对应一个频数,如某医院某年度一日内死亡0,1,2…个病人的天数。对于散布区间很大的离散数据和连续型数据,数据散布区间由若干组段组成,每个组段对应一个频数。

12.算术均数(arithmetic mean)描述一组数据在数量上的平均水平。总体均数用μ表示,样本均数用X 表示。

13.几何均数(geometric mean)用以描述对数正态分布或数据呈倍数变化资料的水平。记为G。

14.中位数(median)Md将一组观察值由小到大排列,n 为奇数时取位次居中的变量值;为偶数时,取位次居中的两个变量的平均值。反映一批观察值在位次上的平均水平。

15.极差(range)亦称全距,即最大值与最小值之差,用于资料的粗略分析,其计算简便但稳定性较差。

16.百分位数(percentile)是将n 个观察值从小到大依次排列,再把它们的位次依次转化为百分位。百分位数的另一个重要用途是确定医学参考值范围。

17.四分位数间距(inter-quartile range)是由第3 四分位数和第1 四分位数相减计算而得,常与中位数一起使用,描述偏态分布资料的分布特征,较极差稳定。

18.方差(variance):方差表示一组数据的平均离散情况,由离均差的平方和除以样本个数得到。

19.标准差(standard deviation)是方差的正平方根,使用的量纲与原量纲相同,适用于近似正态分布的资料,大样本、小样本均可,最为常用。

20.变异系数(coefficient of variation)用于观察指标单位不同或均数相差较大时两组资料变异程度的比较。用CV 表示。计算:标准差/均数*100%

21.统计推断:通过样本指标来说明总体特征,这种从样本获取有关总体信息的过程称为统计推断(statistical inference)。

22.抽样误差:由个体变异产生的,抽样造成的样本统计量与总体参数的差异,称为抽样误差(sampling error)。

23.标准误及X s :通常将样本统计量的标准差称为标准误。许多样本均数的标准差X s称为均数的标准误(standard error of mean,SEM ),它反映了样本均数间的离散程度,也反映了样本均数与总体均数的差异,说明均数抽样误差的大小。

24.可信区间:按预先给定的概率确定的包含未知总体参数的可能范围。该范围称为总体参数的可信区间(confidence interval,CI)。它的确切含义是:可信区间包含总体参数的可能性是1- α ,而不是总体参数落在该范围的可能性为1-α 。

25.参数估计:指用样本指标值(统计量)估计总体指标值(参数)。参数估计有两种方法:点估计和区间估计。

26.假设检验中P 的含义:指从H0 规定的总体随机抽得等于及大于(或等于及小于)现有样本获得的检验统计量值的概率。

27.I 型和II 型错误:I 型错误(type I error ),指拒绝了实际上成立的H0,这类“弃真”的错误称为I 型错误,其概率大小用α表示;II 型错误(type II error),指接受了实际上不成立的H0,这类“存伪”的误称为II 型错误,其概率大小用β表示。

28.检验效能:1- β称为检验效能(power of test),它是指当两总体确有差别,按规定的检验水准a 所能发现该差异的能力。

29.检验水准:是预先规定的,当假设检验结果拒绝H0,接受H1,下“有差别”的结论时犯错误的概率称为检验水准(level of a test),记为α 。

30..率(rate)又称频率指标,说明一定时期内某现象发生的频率或强度。计算公式为:发生某现象的观察单位数/可能发生某现象的观察单位总数*100%,表示方式有:百分率(%)、千分率(‰)等。

31.构成比(proportion)又称构成指标,说明某一事物内部各组成部分所占的比重或分布。计算公式为:某一组成部分的观察单位数/同一事物各组成部分的观察单位总数*100%,表示方式有:百分数等。

32.比(ratio)又称相对比,是A、B 两个有关指标之比,说明A 是B 的若干倍或百分之几。计算公式为:A/B ,表示方式有:倍数或分数等。

33.非参数统计:针对某些资料的总体分布难以用某种函数式来表达,或者资料的总体分布的函数式是未知的,只知道总体分布是连续型的或离散型的,用于解决这类问题的一种不依赖总体分布的具体形式的统计分析方法。由于这类方法不受总体参数的限制,故称非参数统计法(non-parametric statistics),或称为不拘分布(distribution-free statistics)的统计分析方法,又称为无分布型式假定(assumption free statistics)的统计分析方法。

34.参数统计:通常要求样本来自总体分布型是已知的(如正态分布),在这种假设的基础上,对总体参数(如总体均数)进行估计和检验,称为参数统计(parametric statistics)

35.秩次:变量值按照从小到大顺序所编的秩序号称为秩次(rank)。

36.秩和:各组秩次的合计称为秩和(rank sum),是非参数检验的基本统计量。

37.直线回归(linear regression)建立一个描述应变量依自变量变化而变化的直线方程,并要求各点与该直线纵向距离的平方和为最小。直线回归是回归分析中最基本、最简单的一种,故又称简单回归(simple regression)。

38.回归系数(regression coefficient )即直线的斜率(slope),在直线回归方程中用b 表示,b 的统计意义为X每增(减)一个单位时,Y平均改变b 个单位。

39.相关系数r:用以描述两个随机变量之间线性相关关系的密切程度与相关方向的统计指标。

什么是CMM?三坐标测量机(CMM)的发展概况及其基本组成2007-03-26 14:20三坐标测量机(Coordinate Measuring Machining,简称CMM)是20世纪60年代发展起来的一种新型高效的精密测量仪器。它的出现,一方面是由于自动机床、数控机床高效率加工以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速可靠的测量设备与之配套;另一方面是由于电子技术、计算机技术、数字控制技术以及精密加工技术的发展为三坐标测量机的产生提供了技术基础。1960年,英国FERRANTI公司研制成功世界上第一台三坐标测量机,到20世纪60年代末,已有近十个国家的三十多家公司在生产CMM,不过这一时期的CMM尚处于初级阶段。进入20世纪80年代后,以ZEISS、LEITZ、DEA、LK、三丰、SIP、FERRANTI、MOORE等为代表的众多公司不断推出新产品,使得CMM的发展速度加快。现代CMM不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量,而且可以通过与数控机床交换信息,实现对加工的控制,并且还可以根据测量数据,实现反求工程。目前,CMM已广泛用于机械制造业、汽车工业、电子工业、航空航天工业和国防工业等各部门,成为现代工业检测和质量控制不可缺少的万能测量设备。

图 三坐标测量机的组成

1—工作台 2—移动桥架 3—中央滑架 4—Z轴 5—测头 6—电子系统

现代精密测量技术现状及发展

现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科,涉及广泛的学科领域,它的发展需要众多相关学科的支持。在现代工业制造技术和科学研究中,测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。三坐标测量机(CMM)是适应上述发展趋势的典型代表,它几乎可以对生产中的所有三维复...

现代精密测量技术一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科,涉及广泛的学科领域,它的发展需要众多相关学科的支持。在现代工业制造技术和科学研究中,测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。三坐标测量机(CMM)是适应上述发展趋势的典型代表,它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。同时,作为下世纪的重点发展目标,各在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。

1 坐标测量机的最新发展

三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用,而科学研究和机械制造行业的技术进步又对CMM提出更多新的要求,作为测量机的制造者就需要不断将新技术应用于自己的产品以满足生产实际的需要。

1.1 误差自补偿技术

德国Carl Zeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术(Thermally insensitive ceramic technology),使坐标测量机的测量精度在17.8~25.6℃范围不受温度变化的影响。国内自行开发的数控测量机软件系统PMIS包括多项系统误差补偿、系统数识别和优化技术。

1.2 丰富的软件技术

Carl Zeiss公司开发的坐标测量机软件STRATA-UX,其测量数据可以从CMM直接传送到随机配备的统计软件中去,对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理,根据要求对其进行评估。依据此数据库,可自动生成各种统计报表,包括X-BAR&R及X_BAR&S图表、频率直方图、运行图、目标图等。美国Brown &Sharp公司的Chameleon CMM测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。日本Mitutoyo公司研制开发了一种图形显示及绘图程序,用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较,具有多种输出方式。

1.3 系统集成应用技术

各坐标测量机制造商独立开发的不同软件系统往往互不相容,也因知识产权的问题,些工程软件是封闭的。系统集成技术主要解决不同软件包之间的通信协议和软件翻译接口问题。利用系统集成技术可以把CAD、CAM及CAT以在线工作方式集成在一起,形成数学实物仿形制造系统,大大缩短了模具制造及产品仿制生产周期。

1.4 非接触测量

基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息,进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。该方法克服了接触测量的局限性。将激光双三角测量法应用于1700mm×1200mm×200mm测量范围内,对复杂曲面轮廓进行测量,其精度可高于1μm。英国IMS公司生产的IMP型坐标测量机可以配用其他厂商提供的接触式或非接触式探头。

2 微/纳米级精密测量技术

科学技术向微小领域发展,由毫米级、微米级继而涉足到纳米级,即微/纳米技术。微/纳米技术研究和探测物质结构的功能尺寸与分辨能力达到微米至纳米级尺度,使类在改造自然方面深入到原子、分子级的纳米层次。

纳米级加工技术可分为加工精度和加工尺度两方面。加工精度由本世纪初的最高精度微米级发展到现有的几个纳米数量级。金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达1nm,实验室已经可以制作10nm以下的线、柱、槽。

微/纳米技术的发展,离不开微米级和纳米级的测量技术与设备。具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟,如HP5528双频激光干涉测量系统(精度10nm)、具有1nm精度的光学触针式轮廓扫描系统等。因为扫描隧道显微镜(STM,Scanning Tunning Microscope)、扫描探针显微镜(SPM,Scanning Probe Microscope)和原子力显微镜(AFM,Atomic Force Microscope)用来直接观测原子尺度结构的实现,使得进行原子级的操作、装配和改形等加工处理成为近几年来的前沿技术。

2.1 扫描探针显微镜

1981年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜(STM),把人们带到了微观世界。STM具有极高的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1nm和0.01nm,即可以分辨出单个原子),广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域,在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时,基于STM相似的原理与结构,相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面纳米尺度上表现出来的性质的扫描探针显微镜(SPM),用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息,成为人类认识微观世界的有力工具。下面为几种具有代表性的扫描探针显微镜。

(1)原子力显微镜(AFM)

为了弥补STM只限于观测导体和半导体表面结构的缺陷,Binnig等人发明了AFM,AFM利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面的起伏而上下运动,通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移,实现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测,从而得到表面形貌信息。就应用而言,STM主要用于自然科学研究,而相当数量的AFM已经用于工业技术领域。1988年中国科学院化学所研制成功国内首台具有原子分辨率的AFM。安装有微型光纤传导激光干涉三维测量系统,可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜可使目前纳米测量技术定量化。利用类似AFM的工作原理,检测被测表面特性对受迫振动力敏元件产生的影响,在探针与表面10~100nm距离范围,可以探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力,相继开发磁力显微镜(MFM,Magnetic Force Microscope)、静电力显微镜(EFM,Electrostatic Force Microscope)、摩擦力显微镜(LFM,Lateral Force Microscope)等,统称为扫描力显微镜(SFM,Scanning Force Microscope)。

(2)光子扫描隧道显微镜(PSTM,Photon Scanning Tunning Microscope)

PSTM的原理和工作方式与STM相似,后者利用电子隧道效应,而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场,其强度随距界面的距离成函数关系,获得表面结构信息。

(3)其他显微镜

如扫描隧道电位仪(STP,Scanning Tunning Potentiometry)可用来探测纳米尺度的电位变化;扫描离子电导显微镜(SICM,Scanning Ion_Conductation Microscope)适用于进行生物学和电生理学研究;扫描热显微镜(Scanning Thermal Microscope)已经获得了血红细胞的表面结构;弹道电子发射显微镜(BEEM,Ballistic Electron Emission Miroscope)则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和界面结构的先进分析仪器,国内也已研制成功。

2.2 纳米测量的扫描X射线干涉技术

以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率,却不能给出表面结构准确的纳米尺寸,这是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度(0.10~0.01nm)尺寸测量的定标手段。美国NIST和德国PTB分别测得硅(220)晶体的晶面间距为192015.560±0.012fm和192015.902±0.019fm。日本NRLM在恒温下对220晶间距进行稳定性测试,发现其18天的变化不超过0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。扫描X射线干涉测量技术是微/纳米测量中的一项新技术,它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位,加上X射线波比可见光波波长小两个数量级,有可能实现0.01nm的分辨率。该方法较其他方法对环境要求低,测量稳定性好,结构简单,是一种很有潜力的方便的纳米测量技术。自从1983年D.G.Chetwynd将其应用于微位移测量以来,英、日、意大利相继将其应用于纳米级位移传感器的校正。国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在1997年5月利用自己研制的X射线干涉器件在国内首次清楚地观察到X射线干涉条纹。

软X射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。迈克尔逊型差拍干涉仪,适于超精细加工表面轮廓的测量,如抛光表面、精研表面等,测量表面轮廓高度变化最小可达0.5nm,横向(X,Y向)测量精度可达0.3~1.0μm。渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中,其分辨率可达0.1nm数量级。

2.3 光学干涉显微镜测量技术

光学干涉显微镜测量技术,包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等,随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。

外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率,如光外差干涉轮廓仪具有0.1nm的分辨率;基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度,其精度可达0.001nm,但其测量范围受激光器的调频范围的限制,仅有0.1μm。而扫描电子显微镜(SEM,Scanning Electric Microscope)可使几十个原子大小的物体成像。

美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统,位移分辨率高于0.6nm,可在1.1m/s的高速下测量,适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。

目前,在微/纳米机械中,精密测量技术一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。微细结构的缺陷研究,如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析(Laser Scanning Tomograph)技术,用于研究样品顶部几个微米之内缺陷情况的纳米激光雷达技术(Nanoladar),其探测尺度分辨率均可达到1nm。

3 图像识别测量技术

随着近代科学技术的发展,几何尺寸与形位测量已从简单的一维、二维坐标或形体发展到复杂的三维物体测量,从宏观物体发展到微观领域。被测物体图像中即包含有丰富的信息,为此,正确地进行图像识别测量已经成为测量技术中的重要课题。图像识别测量过程包括:(1)图像信息的获取;(2)图像信息的加工处理,特征提取;(3)判断分类。计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类,这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。

图像测量系统一般由以下结构组成,如图1所示。以机械系统为基础,线阵、面阵电荷耦合器件CCD或全息照相系统构成摄像系统;信息的转换由视频处理器件完成电荷信号到数字信号的转换;计算机及计算技术实现信息的处理和显示;反馈系统包括温度误差补偿,摄像系统的自动调焦等功能;载物工作台具有三坐标或多坐标自由度,可以精确控制微位移。

3.1 CCD传感器技术

物体三维轮廓测量方法中,有三坐标法、干涉法、莫尔等高线法及相位法等。而非接触电荷耦合器件CCD(Charge Coupled Device)是近年来发展很快的一种图像信息传感器。它具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确及敏感单元尺寸小等优点。随着集成度的不断提高、结构改善及材料质量的提高,它已日益广泛地应用于工业非接触图像识别测量系统中。在对物体三维轮廓尺寸进行检测时,采用软件或硬件的方法,如解调法、多项式插值函数法及概率统计法等,测量系统分辨率可达微米级。也有将CCD应用于测量半导体材料表面应力的研究。

3.2 全息照相技术

全息照相测量技术是60年代发展起来的一种新技术,用此技术可以观察到被测物体的空间像。激光具有极好的空间相干性和时间相干性,通过光波的干涉把经物体反射或透射后,光束中的振幅与相位信息。


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