测sem时的硅片的作用

测sem时的硅片的作用,第1张

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜,硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料,是半导体产业链基础性的一环。

拉单晶 不用讲就是拉单晶的

滚圆 把拉完的单晶短成段 摸成标准尺寸的圆棒

切片 线切割或者内圆切 把棒切成片

倒角 把片子边缘磨圆了 去锐角

磨片 把片子磨薄了 变成合理厚度

化学抛光

和抛光 把表面处理成镜面

检验 检验各个工序是否合格

背损 就是背损

背封 就是被封

求满意答案


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