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SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。扫描电镜是可以用来看看那个产物最终的形貌的,但是EDS只是个半定量的分析---个元素的含量的,你可以用那个ICP进行分析下,这样的话,可能会准确点;或者使用原子吸收光谱法进行测定,但是前提是你知道大概有哪些元素构成了你的产物,也就是你的反应物中的原料是什么,这个你要自己把握下!希望对你有帮助!
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