SEM扫描电镜图怎么看，图上各参数都代表什么意思

1、放大率：

与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

所以，SEM中，透镜与放大率无关。

2、场深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

3、作用体积：

电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。

4、工作距离：

工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

5、成象：

次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。

6、表面分析：

欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层（参见作用体积），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

观察方法：

如果图像是规则的（具螺旋对称的活体高分子物质或结晶），则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。

尤其用光过滤法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，将其他部分遮蔽使重新衍射，则会得到背景干扰少的鲜明图像。

扩展资料：

SEM扫描电镜图的分析方法：

从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中，有时因为背景干扰严重，只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。

图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系，所以将电镜像用光度计扫描，使各点的浓淡数值化，将之进行傅立叶变换，便可求出衍射像〔衍射斑的强度（振幅的2乘）和其相位〕。

将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换，则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

参考资料：百度百科-扫描电子显微镜

桌面台扫描电镜（Desktop 或者Tabletop或者Benchtop， MINI sem）

目前市场上产品大多只是在原有传统钨灯丝扫描电镜基础上不但进行缩小而且做了大量简化，把众多工作条件的调节范围限定在很小的区域甚至固定某些参数，或者采用更大的步距来简化调节，通过以上种种技术手段，也就是归结到所谓专业机向简易机的退变。在这之所以不强调以往的小型机是傻瓜机式的全自动或者操作更加便捷，因为这样容易误导。桌面台式机并不是当代的创造，而是伴随扫描电子显微镜的发展一直存在的小型化简易化产品，只不过时代不同，影响不如当代这般“尽人皆知”。如下图的Desk-Top Mini sem，如果对扫描电镜发展历史比较熟悉，或者说对电器控制比较熟悉，应该大体可以判断是什么年代的产品。从这个名字，也知道现在是谁在照搬这个历史概念。这个产品，一般人很难联想到全自动傻瓜机，更不要说联想到普遍使用的数码机，只能说这是一台比较原始简陋的仪器。然而经过当代技术的包装以及概念的偷换，就把它描绘成全自动的傻瓜机，操作的方便性优于大型机，力图遮掩其简陋机的本质，是非常不切实际。到现在为止常规大型机的各项技术发展都要优先于小型机，包括各种自动控制功能，同一个时代的常规大型机的操作便捷便利性只能比小型机好而不是差。要说差，唯一的原因就是常规大型机给更加专业用户提供了更多选择，然而这丝毫不影响一般用户的操作方便，如果大型机如此方便的操作还用不好，那么小型机也同样用不好，这个道理很浅显。

那么当前是否所有的小型台式机都是简陋型的呢？COXEM品牌的EM-20小型台式扫描电镜给出了否定答案。EM-20是小型化的产品，但不是简单化的产品，而是移植了大型钨灯丝扫描电镜核心技术的专业化产品。

*全自动高亮度电子枪，全数字化高压电源模块，0.5KV~20KV范围内调节和常规大型扫描电镜相同；

*双聚光镜设计 Spot size调节设置10档手动调节，并且Spot size可以和放大倍数或者图像像素数量匹配的自动调节，尤其使用触摸屏操作时，更加方便；

*圆锥形物镜，具有更高分辨性能，和更强大的长焦观测能力；

*由于设计为7nm分辨率 ，因此所有光阑都是固定的，物镜光阑选择最佳的尺寸，兼顾高分辨和优秀图像质量；

*使用COXEM系列大型扫描电镜高级的自动聚焦，自动消象散算法，使得自动功能更加实用；

*实时直方图监测亮度对比度并可实现自动调节；

*采用合理的四轴样品台，X Y为标配两轴计算机导航的马达驱动，R旋转功能作为辅助，Z轴调节范围5~60mm

以上配置可以实现对电子光学的电子束d、 i、 a、V 这四个重要参数进行类似大型钨灯丝扫描电镜的调节，可以分别实现高分辨，高反差，大景深，低加速电压这四种观察模式，而辅助的自动化调节手段，让这些模式的实现轻松而至，最大限度的丰富了材料科学工作者的视野，这充分体现COXEM品牌的核心价值之一，追求操作轻爽及卓越视觉质量。然而如此卓越品质的产品，定价在台式机市场中几乎是最低的，COXEM最大限度的让利于客户，寄希望与市场客户共同成长，这又充分体现COXEM品牌的核心价值之二，以经济友好的方式，实现普及应用。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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