SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
SEM抛光我想应该是要清洁一下表面,避免表面含有一些脏东西之类的,如果是要看组织,不仅最后不是抛光,而且做SEM之前还需要腐蚀,SEM的二次电子成像原理就是要求表面凹凸不平,如果抛光了的话就没办法看二次电子像了,只能用背散射看了应该是自然干燥或者在烘箱中干燥,不能再用水淋洗,用氮气吹可能会把样品吹落。Si线可能有导电性,但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片,把样品转移到样品杯上。
欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
评论列表(0条)