扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜,它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅,将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像。在最常见的SEM模式下,用艾弗哈特-索恩利(Everhart-Thornley)探测器可以检测到由电子束轰击原子所激发的二次电子。不考虑其它因素,可以检测到的二次电子数以及信号强度取决于样品形貌。扫描电镜的分辨率可达1 nm。
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