请问Si基底制SEM样,我把样品滴在基底上,多久后才用水淋洗和氮气吹啊?我的样是Si线,之前基底已经洗过

请问Si基底制SEM样,我把样品滴在基底上,多久后才用水淋洗和氮气吹啊?我的样是Si线,之前基底已经洗过,第1张

应该是自然干燥或者在烘箱中干燥,不能再用水淋洗,用氮气吹可能会把样品吹落。

Si线可能有导电性,但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片,把样品转移到样品杯上。

你的镀膜喷的是什么金属,金,pt,Pt/Pa,还是Ir?如果是Au,Pt的可以用王水溶掉吧我没做过,只是猜测。至于镀层厚度,要看你的具体情况了,几个nm到十几个nm都有。如果你做能谱可能要薄一点,如果想观察到清晰图像,不被样品的二次电子干扰,可能就要厚一点。

不是。

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁,无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。


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