什么是TEM,SEM,FIM

透射电子显微镜(TEM)

扫描电子显微镜(SEM)

场离子显微镜(FIM)

其他的还有：

高压电子显微镜(HVEM)、分析电子显微镜(AEM)、场发射电子显微镜(FEEM)、声学显微镜(AM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)

电子显微镜差不多就这些了

SEM，全称为扫描电子显微镜，又称扫描电镜，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全称为透射电子显微镜，又称透射电镜，英文名Transmission Electron Microscope.

区别：

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷（或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求）。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

---