Si线可能有导电性,但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片,把样品转移到样品杯上。
可以有3个方法:1,制样的时候将样品倾斜放置。
2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。
3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图
欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
Si线可能有导电性,但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片,把样品转移到样品杯上。
可以有3个方法:1,制样的时候将样品倾斜放置。
2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。
3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图
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