区别:
SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
1、制样:成功制备出所要观察的位置,样品如果不导电,可能需要镀金2、环境:电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下
3、设备:电镜电子枪仍在合理的使用时间内
4、拍摄:找到拍摄位置,选择合适距离,选择合适探头→对中→调像散→聚焦,反复操作至最清晰
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