以目前实验室配有的FIB-SEM的型号是蔡司的Crossbeam 540为例进行如下分析,离子束最高成像分辨率为3nm,电子束最高分辨率为0.9nm。该系统的主要部件及功能如下:
1.离子束: 溅射(切割、抛光、刻蚀);刻蚀最小线宽10nm,切片最薄3nm。
2.电子束 : 成像和实时观察
3.GIS(气体注入系统): 沉积和辅助刻蚀;五种气体:Pt、W、SiO2、Au、XeF2(增强刻蚀SiO2)
4.纳米机械手: 转移样品
5.EDS: 成分定量和分布
6.EBSD : 微区晶向及晶粒分布
7.Loadlock(样品预抽室): 快速进样,进样时间只需~1min
由上述FIB-SEM的一个部件或多个部件联合使用,可以实现在材料研究中的多种应用,具体应用实例如下:
图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜照片可以看出在CdS微米线节点处内部含有其他物质,但无法确定是什么材料和内部形貌。利用FIB-SEM在节点处定点切割截面,然后对截面成像和做EDS mapping,如图2c、d、e和f所示,可以很直观的得到在CdS微米线的节点处内部含有Sn球。
FIB-SEM制备TEM样品的常规步骤如图3所示,主要有以下几步:
1)在样品感兴趣位置沉积pt保护层
2)在感兴趣区域的两侧挖大坑,得到只有约1微米厚的薄片
3)对薄片进行U-cut,将薄片底部和一侧完全切断
4)缓慢移下纳米机械手,轻轻接触薄片悬空的一端后,沉积pt将薄片和纳米机械手焊接牢固,然后切断薄片另一侧,缓慢升起纳米机械手即可提出薄片
5)移动样品台和纳米机械手,使薄片与铜网(放置TEM样品用)轻轻接触,然后沉积pt将薄片和铜网焊接牢固,将薄片和纳米机械手连接的一端切断,移开纳米机械手,转移完成
6)最后一步为减薄和清洗,先用大加速电压离子束将薄片减薄至150nm左右,再利用低电压离子束将其减薄至最终厚度(普通TEM样品<100nm,高分辨TEM样品50nm左右,球差TEM样品<50nm)
一种如图4a所示的MoS2场效应管,需要确定实际器件中MoS2的层数及栅极(Ag纳米线)和MoS2之间的距离。利用FIB-SEM可以准确的在MoS2场效应管的沟道位置,垂直于Ag纳米线方向,提出一个薄片,并对其进行减薄,制备成截面透射样。在TEM下即可得到MoS2的层数为14层(图4c), Ag纳米线和MoS2之间的距离为30nm(图4b)。
图5是一种锰酸锂材料的STEM像,该样品是由FIB-SEM制备,图中可以看到清晰的原子像。这表明FIB-SEM制备的该球差透射样非常薄并且有很少的损伤层。
FIB-SEM还可以进行微纳图形的加工。
图6a 是FIB-SEM在Au/SiO2上制备的光栅,光栅周期为150nm,光栅开口为75nm。
图6b 是利用FIB-SEM在Mo/石英上做的切仑科夫辐射源针尖,针尖曲率半径为17nm。
图6c 是在Au膜上加工的三维对称结构蜘蛛网。
图6d 是FIB-SEM在硅上刻蚀的贺新年图案,图中最小细节尺寸仅有25nm。
FIB-SEM可以对材料进行切片式的形貌和成分三维重构,揭示材料的内部三维结构。大概过程如图7a所示, FIB切掉一定厚度的样品,SEM拍一张照片,重复此过程,连续拍上百张照片,然后将上百张切片照片重构出三维形貌。图7b是一种多孔材料内部3×5×2um范围的三维重构结果,其实验数据是利用FIB-SEM采集,三维重构是利用Avizo软件得到,其分辩率可达纳米级,展示了内部孔隙的三维空间分布,并可以计算出孔隙的半径大小、体积及曲率等参数。
利用FIB-SEM配有的纳米机械手及配合使用离子束沉积Pt,可以实现微米材料的转移,即把某种材料从一个位置(衬底)转移到特定位置(衬底),并固定牢固。图8是把四针氧化锌微米线从硅片转移到两电极的沟道之间,从而制备成两个微米线间距只有1um的特殊器件。
最后,FIB-SEM还有很多其他的应用,例如三维原子探针样品制备,芯片线路修改等。总之FIB-SEM是材料研究中一个非常重要的手段。
不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。
锰酸锂优缺点如下:
优点:锰酸锂的成本低、安全性和低温性能好。
缺点:锰酸锂的材料本身并不太稳定,容易分解产生气体。
锰酸锂电池的特性:
锰酸锂电池是指正极使用锰酸锂材料的电池,其标称电压达到3.8V,是目前主流的动力电池。这种电池能量密度中等,寿命一般,安全环保,没有专利限制。
锂电池充电有以下注意事项:
1、适度充电
保持锂离子电池适度充电、放电可延长电池寿命。锂离子电池电量维持在10%~90%有利于保护电池,给手机、笔记本电脑等数码产品的电池充电时,无需达到最大值。
2、选择合适的充电温度
锂电池充电温度范围:0~45摄氏度,锂电池放电温度范围0~60摄氏度。
以上内容参考 百度百科-锰酸锂电池
1、钴酸锂
优点:钴酸锂具有放电平台高、比容量较高、循环性能好、合成工艺简单等优点。
缺点:钴酸锂材料中含有毒性较大的钴元素,且价格较高,制作大型动力电池时安全性难以保证。
2、磷酸铁锂
优点:磷酸铁锂不含有害元素,成本低廉,安全性非常好,循环寿命可达10000次。
缺点:磷酸铁锂电池的能量密度低于钴酸锂和三元电池。
3、三元材料
优点:三元材料在比能量、循环性、安全性和成本方面可以进行均衡和调控。
缺点:三元材料热稳定性越差。如NCM11材料在300℃左右发生分解,而NCM811在220℃左右即分解。
4、锰酸锂
优点:锰酸锂的成本低、安全性和低温性能好。
缺点:锰酸锂的材料本身并不太稳定,容易分解产生气体。
5、镍酸锂
优点:镍酸锂具有比容量高、污染小、价格适中、与电解液匹配好等优点。
缺点:镍酸锂的合成困难,循环稳定性差。
扩展资料
三元材料的镍、钴、锰三种元素的不同配置可为材料带来不同的性能:
1、镍含量增加将增加材料的容量,但会使循环性能变差;
2、钴的存在可使材料结构更加稳定,但含量过高会使容量降低;
3、锰的存在可以降低成本并改善安全性能,但含量过高则会破坏材料的层状结构。
参考资料来源:百度百科-锰酸锂电池
百度百科-钴酸锂电池
百度百科-镍钴锰三元电池材料
百度百科-磷酸铁锂电池
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