sem的eds和mapping什么区别

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

SEM(scanning electron microscope)：扫描式电子显微镜

EDS（Energy Dispersive Spectrometer）：X光微区分析

SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图，可以告诉你样品的形貌特这，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的，给出的是立体图，对观察棒状，球状，等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的，一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成，不能代表样品整体组成。

---