SEM、TEM、XRD、AES、STM、AFM的区别

xrd是x射线衍射，可以分析物相，SEM是扫描电镜，主要是观察显微组织，TEM是透射电镜，主要观察超限微结构。AES是指能谱，主要分析浓度分布。STM扫描隧道显微镜，也是观察超微结构的。AFM是原子力显微镜，主要是观察表面形貌用的-----回答的不是很全。

朋友，这是三类原理不同的显微镜。

金相显微镜是属于光学显微镜，主要用于观察材料表面的金相组织，分辨率受限于半波长，只有0.2um，无法得到更高分辨率的图像。

扫描电镜即SEM，属于第二代显微镜，是采用电子轰击样品表面进行成像，得到样品表面二维的形貌像，分辨率可以达到nm级别；只是它要求样品必须为导电样品，所以对于非导电样品需要进行前期的制样处理：喷金、银或碳等。

你说的描隧道电镜应该是扫描隧道显微镜，它和原子力显微镜统称为扫描探针显微镜，属于第三类显微镜，原理均为一根原子线度的极细的针尖作用在样品表面，通过检测针尖与样品表面之间的作用力来得到样品表面的形貌像，所不同的是扫描隧道显微镜只能检测导电样品，故应用范围受限（但分辨率最高：横向0.1nm，纵向0.01nm），而原子力显微镜则对样品无此要求，所以为最常用的一类扫描探针显微镜，分辨率为：横向：0.2nm，纵向：0.1nm；与电镜不同，这一类显微镜得到的是三维的图像。除此之外，扫描探针显微镜是一个大的家族，还包括：磁力显微镜、静电力显微镜、声学显微镜等二十多种。

希望可以帮到你。

二者最主要的不同是其工作肌理不同。

电子探针仪，学名应该是扫描隧道显微镜（scanning tunnel microscopy，STM）,它的工作原理是用一个针尖在离样品表面极近的位置慢慢划过，样品和针尖上加有恒定电压，随着针尖和样品起伏不平的表面原子距离的改变，二者间的电流会有变化，记录这个电流的变化进行处理后，可以得到表面的形貌像，这是其中的一个工作方式，还有针尖位置不变，电压变化的工作方式等。另外STM发展的非常蓬勃，衍生出很多其他类似的分支电镜，如AFM等。

扫描电子显微镜（scanning electron microscopy,SEM),是通过电子束对样品表面进行反复的扫射，通过探头收集反射回来的二次电子和背散射电子来进行成像。

二者相同的地方则是主要用作测样品表面形貌的仪器

---