sem硅片有正反面吗

sem硅片有正反面吗,第1张

有。

硅片一般分正面和背面,正面印正银,背面印背银和背铝,烘干烧结后可以使用并测试。光伏用的硅片表面不能有线痕,这种工艺在切割时就定型,用途太阳能发电。而半导体硅片在切割时,硅片两面都有线痕,经抛光研磨后成晶圆,再上光刻胶。

很多纳米管、线等都是在类似的基体上生长,然后直接SEM观察。换句话说,只有纳米材料才会考虑用抛光硅片做样品载台。微米亚微米级别的,浪费,直接双面导电胶带粘即可。抛光是研磨后进一步平整漆面,除去研磨残余条纹,抛光剂使漆面光泽度自然呈现。抛光有很多种,有机械抛光、化学抛光、电解抛光、超声波抛光、流体抛光、磁研磨抛光。

对于零维和一维纳米材料,SEM观察时需要分散。一般使用有机溶剂加分散剂,超声波分散,离心沉淀后用吸管取上清液,滴在干净的硅片或载玻片上,干燥后用导电胶带粘取。

具体沉淀时间或离心机的参数,需要多做几次试验,针对不同的材料特点,选择好的条件。


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